Изобретение относится к защитным покрытиям диэлектрических материалов (в частности для защиты обратной стороны стеклянных и кварцевых пластин в процессах формирования различных рельефов на их поверхности) в процессах их химической обработки.
Цель изобретения - повышение стойкости покрытия к кислотным травите- лям.
На защищаемую поверхность пластины наносят маску из расплавленного состава с помощью фильерной установки Т1Е-1200/1 (температура расплава 60- 70°С, толщина покрытия 0,05-20 мм). Покрытие, охлаждаясь, затвердевает.
после чего открытые участки поверх- ,ности детали подвергают травлению в плавиковой кислоте или смеси серной и плавиковой кислот.
Состав готовят следующим образом.
В металлическую емкость загружают смесь из канифоли (ГОСТ 2911 t-8it), пчелиного воска (ГОСТ 2537 t-82) и парафина (ТУ 6-09-3637-7), расплавляют при 80-9П°С при интенсивном перемешивании до получения однородной массы.
В табл. 1 представлены конкретные примеры предлагаемых композиций.
В табл. 2 и 3 представлены данные по свойствам покрытий.
сл
00
о
3151
Эффективность композиции оценивают с использованием подложек из кварцевого стекла-и стекол марок К-8, К-15, БК-10, Кварцевые полложки с нанесенным на них покрытием подвергают травлению в 70, k5 и 15%-ном водных растворах фтористоводородной кислоты, а стеклянные - в смеси серной кислоты, 5%-ной фтористоводо родной кислоты и воды в соотношении 6,3:2,3:1,.
Формула изо-бретения
ООГ
60-70°С при следующем соотношении компонентов, мас.:
Канифоль с темпе- г ратурой размягчения 90-ПО С Пчелиный воск с температурой размягчения 70-80 0 Парафин с температурой размягчения 60-70°С
20-25
10
Остальное
Таблица 1
Таблица 3
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Защитное покрытие для стекла | 1988 |
|
SU1627529A1 |
| Средство для герметизации емкостей при хранении анатомических препаратов | 2021 |
|
RU2774233C1 |
| КЛЕЕВАЯ КОМПОЗИЦИЯ | 2015 |
|
RU2596248C1 |
| Способ получения рельефа в диэлектрической подложке | 2018 |
|
RU2687299C1 |
| КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ СУХОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ В ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ | 2013 |
|
RU2524344C1 |
| Герметизирующая композиция | 2019 |
|
RU2706313C1 |
| Композиционный материал для герметизации, заливки и уплотнения | 1989 |
|
SU1680749A1 |
| ГЕРМЕТИЗИРУЮЩАЯ КОМПОЗИЦИЯ | 2011 |
|
RU2489466C1 |
| Способ селективного травления кремний-металлосодержащего слоя в многослойных структурах | 1990 |
|
SU1819356A3 |
| Почтовый сургуч | 1990 |
|
SU1796643A1 |
Изобретение касается получения защитных покрытий диэлектрических материалов, выполненных из кварца и стекла, подвергаемых химической обработке (травлению в кислотах) в процессе формирования различных рельефов на их поверхности. Изобретение позволяет повысить стойкость покрытия к действию кислотных травителей (серная, плавиковая кислота или их смесь) до 15-70 ч, исключив подтрав обрабатываемой поверхности за счет введения в композиции состава, мас.% : канифоль с т.разм. 90-100°С 40-50, пчелинный воск с т.разм. 70-80°С 20-25 от 25 до 40 мас.% парафина с т.разм. 60-70°С. 3 табл.
Канифоль - 80 Воск - 20 (наклеечный воск)
Смесь кислот
70 HF
1(5 HF
15 HF
Смесь кислот
1 6Й 21
22
70 HF 1|5 HF 15 HF Смесь кислот
70 HF 5% HF 15 HF Смесь кислот
с емибратов М.Н, Технология обработки олтических деталей. - М., 1978, с,162-|6 (, Смесь кислот H,SO t HF 6,3 : 2,3 : I,.
Для средних значений предлагаемых трехкомпонентных композиций.
Композиция плохо смачивает поверхность полложки, после затвердевания на деталях ппочадью 50и 50 и 1С2 103 наблюдается растрескивание покрытия
Высокая вязкость композиции не позволяет наносить ее с помощью фильерной установки
Композиция наносится с помощью фильерноЛ установки, хорошо смачивает поверхность диэлектрических материалов, образуя после застывания твердое равномерное покрытие (толщину покрытия можно задавать от С,05 до 2 мм) на поверхности 102 102 мм, обладает хорошей адгезией к материалу подложки, что позволяет полностью исключить подтрав
