Способ измерения глубины залегания р-п перехода в пластинах германия Советский патент 1962 года по МПК H01L21/66 

Описание патента на изобретение SU151397A1

Известные способы измерения глубины залегания р-п перехода в пластинах германия обладают ниакой точностью и сложны по выполнению. Это объясняется тем, что измерения производятся косвенным путем. Кроме .того, эти способы сопровождаются большим расходом германия.

Предложенный способ не имеет указанных недостатков. Сущность изобретения заключается в том, что исследуемый образец погружают в дистиллированную воду и в пластине германия производят электролитическое вытравливание конической лунки в области р-п перехода.

После этого обнажают переход путем изменения режима травления и с помощью микроскопа визуально определяют глубину залегания р-п перехода.

Па фиг. 1 изображена схема устройства для осуществления предложенного способа; на фиг. 2 - коническая лунка.

Устройство состоит из ванны / с дистиллированной водой, миллиамперметра 2, вольтметра 3, наушников 4 и графитового держателя 5.

Пластина 6 или .кристаллик германия после диффузии в него примесей для образования р-п перехода соединяется с графитовым держателем 5. Держатель помещается в ванне /, в которую заливается дистиллированная вода нервой перегонки. К поверхпости пластины подводится острая игла 7 из никеля или вольфрама под напряжением 5-8 в. При этом в наущниках 5 будет слышен щелчок, а миллиамперметр 2 .покажет прирост тока. .Затем игла отводится.

Напряжение повышается до 50-60 в и игла вручную (поворотом рукоятки) подается вниз до контакта с дном лунки, находящимся в р-п слое германия и выдерживается 25-30 сек, п слой электролитически вытравливается и образуется коническая лунка, обнажающая переход. Лунка имеет переходную поверхность а, соответствующую глубине перехода.

Похожие патенты SU151397A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИОДНЫХ МАТРИЧНЫХ И полосовых СТРУКТУР 1965
SU168329A1
СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ГЕРМАНИЯ 1965
SU167729A1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ДИОДНЫХ МАТРИЧНЫХ И полосовых СТРУКТУР 1965
SU168519A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЛОШНОСТИ ПОКРЫТИЯ НА ЛИСТОВОМ ПРОКАТЕ ПРИ ЕГО ДЕФОРМАЦИИ 2016
  • Толочек Валерий Николаевич
RU2622224C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЛОШНОСТИ ПОКРЫТИЯ ПРИ ЕГО ДЕФОРМАЦИИ 2016
  • Толочек Валерий Николаевич
RU2618720C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В ДЕТАЛЯХ С ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫМИ ПОКРЫТИЯМИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2006
  • Меркулова Наталья Семеновна
  • Гринченко Михаил Иванович
  • Иванова Татьяна Олеговна
RU2340867C2
Способ жидкофазной эпитаксии методом испаряющегося растворителя 1986
  • Малкин Герольд Михайлович
SU1581786A1
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ПЛОСКОЙ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ 2022
  • Овсеенко Александр Николаевич
  • Клауч Дмитрий Николаевич
  • Носов Даниил Петрович
  • Кущева Марина Евгеньевна
RU2802869C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТИТАНОВОГО ДИСКА С ПОКРЫТИЕМ КАРБИДА ТИТАНА 2009
  • Ким Владимир Алексеевич
  • Башков Олег Викторович
  • Хвостиков Александр Станиславович
  • Саблин Павел Алексеевич
RU2454311C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЛОШНОСТИ ПОКРЫТИЯ НА ЛИСТОВОМ ПРОКАТЕ ПРИ ЕГО ДЕФОРМАЦИИ 2016
  • Толочек Валерий Николаевич
RU2619825C1

Иллюстрации к изобретению SU 151 397 A1

Реферат патента 1962 года Способ измерения глубины залегания р-п перехода в пластинах германия

Формула изобретения SU 151 397 A1

SU 151 397 A1

Авторы

Савченко В.И.

Даты

1962-01-01Публикация

1961-05-03Подача