Известны устройства для бесконтактных измерений удельного сопротивления малогабаритных кристаллов низкоомных полупроводниковых материалов, работающие на принципе наведения в образце вихревых токов, содержащие генератор высокочастотных колебаний и индуктор, который размещается fBблизи плоской части измеряемого образца. Для того, чтобы размеры образца не оказывали влияния иа результаты измерений, необходимо, чтобы диаметр индуктора был в несколько раз меньще размеров образца, что трудно выполнить применительно к малогабаритным образцам кристаллов.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что позволяет снизить влияние размеров образца на результаты измерений удельного сопротивления малогабаритных кристаллов. Это достигается тем, что между индуктором и образцом помещена проводящая диафрагма, локализующая магнитное поле в пространстве, прилегающем к отверстию диафрагмы.
На чертеже изображен эскиз описываемого устройства.
Между измеряемым образцом / кристалла и индуктором 2 помещена диафрагма 3, выполненная из хорошо .проводящего материала и имеющая отверстие, соосное с индуктором 2. Применение такой диафрагмы локализует поле в небольщой области пространства, непосредственно примыкающего к отверстию диафрагмы . Размеры плоской части образца должны быть несколько (на 15-20%) больше диаметра отверстия диафрагмы, в этом случае области образца, расположенные вне отверстия диафрагмы 3, не вносят реакцию в индуктор 2, и, следовательно, колебания размеров образцов не сказываются на результатах измерений
Таким образом, применение диафрагмы позволяет увеличить диаметр катушки-индуктора и сделать ее размеры вполне соизмеримыми с разрлерами измеряемого кристалла.
Предмет изобретения
Устройство для бесконтактных измерений удельного сопротивления малогабаритных кристаллов низкоомных полупроводниковых материалов, работающее на принципе наведения ,в образце вихревых токов, содержащее тенератор высокочастотных колебаний и индуктор, который размещается вблизи плоской части измеряемого образца, о тличающееся тем, что, с целью снижения влияния размеров на результаты измерений удельного сопротивления, между индуктором и образцом помещена проводящая диафрагма, локализующая поле в области пространства, прилегающего к отверстию диафрагмы.
