Способ получения р-п переходов Советский патент 1962 года по МПК H01L21/24 

Известны способы получения р-п-переходов на кремний п-тила путем диффузии бора, нанесенного на пластину кремния в виде 2%-него раствора борной кислоты, и последующего нагрева пластины при температуре 1300° в течение 30-40 час.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что позволяет сократить время процесса диффузии примеси до 10-16 час и упростить технологию получения р-п-переходов- Это достигается тем, что в исходную пластину кремния перед нанесением бора вжигают предварительно нанесенный слой алюминия.

При осуществлении способа в пластину кремния при температуре 700-800° вжигают предварительно нанесенный слой алюминия, затем с помощью пульверизатора наносят 2%-ный раствор борной кислоты, после чего проводят диффузионный отжиг пластины в течение 10- 16 час в атмосфере воздуха при температуре 1200-1300°. Слой сплава кремния с алюминием удаляют шлифовкой.

Предлагаемый способ позволяет получить слой кремния «-типа на глубине порядка 50-70|х, что дает возможность увеличить допуски на щлифовку при удалении слоя сплава кремния с алюминием и исключает необходимость контроля ловерхностной проводимости после шлифовки. Время процесса диффузии примеси сокращается с 30-40 час до 10-16 час.

Предмет изобретения

Способ получения р-п-переходов на кремнии л-типа путем диффузии бора, отл и ч а ющи йен тем, что, с целью сокращения времени процесса диффузии примеси до 10-16 час и упрощения технологии получения р-я-переходов, в исходную пластину кремния перед нанесением бора вжигают предварительно нанесенный слой алюминия.