Устройство для испытания изделий на герметичность Советский патент 1990 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискателя и позволяет улучшить эксплуатационные характеристики устройства при накоплении пробного газа в газе-носителя путем исключения насыщения средств селективной откачки и загрязнения течеискателя. К испытательной камере 1 с изделием 2 последовательно подключены первый высоковакуумный насос (ВВН) 4, селективно настроенный второй ВВН 5 и форвакуумный насос (ФВН) 6, вход которого соединен с входом селективно настроенного третьего ВВН 7, выход которого соединен с входом ВВН 4. В течеискатель 9 поступает поток газа, обогащенного пробным газом. Часть последнего возвращается на вход ВВН 4, а поток, обогащенный газом-носителем, откачивается ФВН 6. 1 ил.