Состав для ретуширования фотошаблонов Советский патент 1990 года по МПК G03C11/04 

Изобретение относится к микроэлектронике и радиоэлектронике, в частности к составам для ретуширования эмульсионных штриховых фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 50 мкм и более и для печатных плат.

Цель изобретения -.повышение выхода годных фотошаблонов.

Пример 1. В 5,4 мл диметил- сульфоксида (уд„в. 1,0946) растворяли 1,0 г эриохрома черного Т. Отдельно готовили раствор из 1,3 мл сС-тер- пинеола (уд.в.О,935) и 2,4 г поливинилпирролидона. Растворы смешивали и получали состав мае.ч.:

Эриохром черный Т 9,4 Диметилсульфоксид 56,6 Поливинилпирролидон 22,5 е -Терпинеол1 1 ,5

Ретуширование производили на фотографические пластинки для фотошаблонов интегральных схем ВР-П (ТУ-6-Т7- -927-83) с помощью микроскопа МБС-9 при температуре состава 20-25-С. Фотопластинку с нанесенной ретушью выдер- . живали на воздухе 10-20 мин, отмывали в деионизованной воде и сушили в термошкафу при t 50 С в течение 5-10 мин

СП

ел

оо

СО

00

Пример 2. Аналогично примеру 1 готовили два раствора из 3,0 мл. диметилсульфоксида (уд.в. 1,0946) и 0,8 г эриохрома черного Т, из 0,6 мл с -терпинеола и 1 ,2 г поливинилпирро- лидона. Растворы смешивали и получали состав, мае.ч. г

Эриохром черный Т 13,8 Диметилсульфоксид 55,2 Поливинилпирролидон 20,7 -Терпинеол10,3

Далее, как в примере 1. Пример 3. Аналогично примеру 1 готовили два раствора из 0,9 мл диметилсульфоксида (уд.в. 1,0946} и 0,5 г эриохрома черного Т, из 0,4 мл о(-терпинеола и 0,6 г поливинилпирро- лидона. Растворы смешивали и получали состав, мае.ч.:

Эриохром черный Т 20,8 Диметилсульфоксид 41,6 Поливинилпирролидон 25,0 с -Терпинеол12,6

Было приготовлено еще шесть составов, три из которых отличались от приведенных выше лишь использованием в качестве красителя эриохрома синего SE, а три - использованием эриохрома оранжевого.

Устойчивость ретуши к воздействию растворителей (спирт, водный раствор мыла), применяемых для отмывки фотошаблонов, проверялась после пяти (1-я отмывка), десяти (2-я отмывка) и двадцати пяти актов контактной печати (5-я отмывка). Срок службы фотошаблона 30 актов. Отмывки производили после каждых пяти актов.

Результаты провеки представлены в таблице.I

Из приведенных в таблице данных следует, что предложенный состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов , так как получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт),

,, применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фотореэистивные слои заготовок изделия. После второй отмывки все фотошаблоны, изготовленные с ис„ пользованием состава по прототипу, приходили в негодность, годность же фотошаблонов, изготовленных с использованием предложенного состава, в среднем составляла 90%, после пятой отмывки (последней) - в среднем 80%.

0

Формула изобретения

Состав для ретуширования фотошаб- лонов, включающий краситель и растворитель, отличающийся тем что, с целью повышения выхода годных фотошаблонов, в качестве красителя он содержит эриохром черный Т или эриохром синий SE, или эриохром оранжевый, в качестве растворителя - Диметилсульфоксид и дополнительно содержит Поливинилпирролидон и d-rep- пинеол при следующем соотношении компонентов, мае ,ч.:

Краситель9,4-20,8

Диметилсульфоксид 41,6-56,6

Поливинилпирролидон 20,7-25,0

оС-Терпинеол10,3-12,6 ,

Составитель А.Круглов Редактор М.Келемеш Техред А.Кравчук Корректор Т.Палий

Изобретение относится к фотографии, в частности к составу для ретуширования фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 50 мкм и более, и для печатных плат. С целью повышения выхода годных фотошаблонов он имеет следующее соотношение компонентов, мас.ч: краситель 9, 4 - 20, 8

диметилсульфоксид 41, 6 - 56, 6

поливинилпирролидон 20, 7 - 25, 0

α-терпинеол 10, 3 - 12, 6. В качестве красителя он содержит эриохром черный Т, или эриохром синий SE, или эриохром оранжевый. Новый состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, так как получаемая ретушь устройчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. Годность фотошаблонов, изготовленных с использованием нового состава, в среднем составляет 90%, после пятой отмывки (последней) в среднем 80%. 1 табл.

Заказ 456

Тираж 373

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное