Состав для ретуширования фотошаблонов Советский патент 1990 года по МПК G03C11/04 

Изобретение относится к микроэлектронике и радиоэлектронике, к составам для ретуширования эмульсионных штриховых фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 100 мкм и более и печатных плат.

Целью изобретения является повышение выхода годных фотошаблонов.

Пример.В 0,8 мл диметил- сульфоксида (уд.в. 1,0946) растворяют 0,25 г эриохрома черного Т. Получают состав, мае.ч.: эриохром черный Т 33; диметилсульфоксид 67.

Ретуширование производят на пластинки фотографические для фотошаблонов интегральных схем ВР-П (ТУ 6-17-927-83) с помощью микроскопа МБС-9 при температуре состава 20 - . Фотопластинку с нанесенной ретушью выдерживают на воздухе 10- 20 мин, отмывают в деконизованной воде и сушат в термошкафу при t 50 С в течение 5-10 мин.

Пример 2, В 1,6 мл диметил- сульфоксида (уд.в..1, 0946) оаство- ряют 0,4 г эриохрома черного Т, Получают состав, мае.ч.: эриохром черный Т 20j диметилсульфоксид 80.

Далее, как в примере 1 .

Приме рЗ. В 2,7 мл диметил- сульфоксида (уд.в. 1,0946) раство

ряют 0,5 г эриохрома черного Т. Получают состав, мае.ч.: эриохром черный Т 14; диметилсульфоксид 86. Далее, как в примере 1.

Было подготовлено еще 6 составов, 3 из которых отличались от приведенных ранее ..лишь использованием в качестве красителя эриохрома синего SE, а 3 - использованием эриохрома оранжевого.

Устойчивость ретуши к воздействию растворителей (спирт, водный раствор мыла), применяемых для отмывки фотошаблонов проверяли после пяти (1-я отмывка), десяти (2-я отмывка), и двадцати пяти актов контактной печати (5-я отмывка).

Срок службы фотошаблона 30 актов. Отмывки проводят после каждых 5 актов. Результаты проверки представлены в таблице.

Изобретение относится к фотографии, в частности к составу для ретуширования фотошаблонов. С целью повышения выхода годных фотошаблонов состав имеет следующее соотношение компонентов мас.ч.: краситель - эриохром черный Т, или эриохром синий SE, или эриохром оранжевый 14-33, растворитель - диметилсульфоксид 67-86. Данный состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, т.к. получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. Годность фотошаблонов, изготовленных с использованием данного состава составляет в среднем 90%, а после пятой отмывки - в среднем 80%. 1 табл.

Из представленных в таблице данных следует, что предлагаемый состав обеспечивает хорошее качество.,фотошаблонов, так как получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторези с тивные слои заготовок изделия. После второй отмывки все фотошаблоны, изготовленные с использованием известного состава, приходят в негодность, годность же фотошаблонов, изготовленных с использованием предлагаемого состава, в среднем составляет 90%, а посI

ле пятой отмьюки (последней) - в среднем 80%.

Формула изобретения Состав для ретуширования фотошаблонов, включающий краситель и раст- воритель, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных фотошлаблонов, состав в качестве красителя содержит эриохром черный Т или эриохром синий SE, или эриохром оранжевый, а в качестве растворителя - диметилсульфоксид при следующем соотношении компонентов, мае.ч.:

Краситель14-33

Диметилсульфоксид67-86