Охлаждаемое защитное устройство Советский патент 1991 года по МПК F04F9/06 

(46) 15,05,91,, Вюл,, № 18

(21)4459284/29

(22)П.07.88

(72) Ю.В.Холод, В.Б.Htyeров,

Б.С.Гурьянов, В.Б.Нестеренко,

А,А.Разумный и Н.В.Говор

(53) 621.516.8(088.8)

(56) Фролов E.G. и Минайчев В.Е.

Вакуумная техника. Справочник. М.:

Машиностроение, 1985, с. 262. рис. И. 7,

(54) ОХЛАЖДАЕМОЕ ЗАЩИТНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к вакуумной технике. Целью изобретения является повышение защитной способности} упрощение технологии изготовлений, уменьшение габаритов. Охлаждаемое защитное устройство содержит охлаждаемый вакуумпровод 1, во внутренней пслости которого размещен основной

Фиг./

сл

00, -4

оптически непрозрачный охлаждаемый экран, выполненный в виде набора разнесенных по длине части Охлаждаемого вакуумпровода I и соединенных между собой тепловыми мостами 2 кольцевых дисков 3, образующих усеченный со сплошным диском 4 в основании, прчем во внутренней полости вакуумпро- вода 1 расположен дополнительный ox- лаждаемый экран, выполненный в виде набора осесимметрнчных обечаек 5, например цилиндрических, причем обечайки 5 установлены с зазорами 6 относительно друг друга и соединены между собой и с охлаждаемым вакуум- проводом 1 тепловыми мостами, а тепловой мост 8 соединяющий наружную обечайку 5 со стенкой вакуумпровоИзобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для защиты откачиваемых объемов от паров рабочих жидкостей средств откачки.

Целью изобретения является повышение защитной способности, упрощение

технологии изготовления, уменьшение

в

габаритов.

На фиг.1 изображено охлаждаемое защитное устройство, продольный разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг..

Охлаждаемое защитное устройство содержит охлаждаемый вакуумпровод I, во внутренней полости которого размещен основной оптически непрозрач- ный охлаждаемый экран, выполненный в виде набора разнесенных по длине части охлаждаемого вакуумпровода 1 и соединенных между собой тепловыми мостами 2 кольцевых дисков 3, обращу- ющих усеченный конус со сплошным дис° ком 4 в меньшем основании, причем во внутренней полости вакуумпровода расположен дополнительный охлаждаемый экран, выполненный в виде набора осесямметричных обечаек 5, например цилиндрических, причем обечайки 5 установлены с зазорами 6 относительно друг друга и соединены между собой it с охлаждаемым ввкуумпроводом 1 теп- ловыми мостами 7, а тепловой мост 8; соединяющий наружную обечайку 5 со стенкой вакуумпровода 1, выполнен в виде сплошной перегородки.

да I, выполнен в виде сплошной перегородки. Кроме того, аждая обечайка может быть выполнена из секторов, образующих на стыке между собой радиальные перегородки, на которых закреплены внутренние обечайки 5t Кроме того, обечайки- 5 могут быть размещены внутри основного охлаждаемого экрана с зазорами по отношению к последнему, а каждый верхний торец 11 наружной обечайки 5 расположен ниже верхнего торца 11 каждой внутренней обечайки 5. Использование изобретения позволяет повысить защитную способность устройства за счет увеличения давления, при котором наступает молекулярный режим течения. 2 з.п- ф-лы, 2 ил.

Кроме того, каждая обечайка 5 может быть выполнена из секторов 9, образующих на стыке между собой радиальные перегородки 10, на которых закреплены внутренние обечайки 5,

Кроме того, обечайки 5 могут быть размещены внутри основного охлаждающего экрана с зазорами по отношению к последнему, а каждый верхний торец 11 наружной обечайки 5 расположен ниже верхнего торца 11 каждой внутренней обечайки 5.

Вакуумпровод 1 охлаждается жид- кгм хладагентом 12.

Охлаждаемое защитное устройство работает следующим образом.

В зависимости от назначения (вымораживание паров масла из насоса или вымораживание паров воды из откачиваемой камеры) оно размещается в охлаждаемом- вакуумпроводе 1 либо со стороны насоса (в нижней части вакуумпровода 1), либо со стороны камеры (в верхней части вакуумпровода 1), Вакуумпровод 1 охлаждают хЛад- агентом 12, подключают верхним клапаном к камере (иа чертеже не показана) , а нижним - к насосу (на чертеже на показан). При включении насоса откачиваемый газ из камеры поступает в вакуумпровод 1, взаимодействует с дисками 3 и 4., проходит к обечайкам 5, поступает в зазоры 6 между обечайками 5, а далее к насосу. Обратный поток паров масла из насоса nocTynaet в .нижнюю часть вакуумпровода 1, час-

тично конденсируясь на стенках последнего. Оставшаяся часть обратного потока паров масла поступает к обечайкам 5, распределяется в них в соответствии с проводимостями зазоров 6 и вымораживается на поверхности обечаек. На дисках 3 и 4 конденсируется остаток паров масла, прошедший через зазоры 6. После завершения ва- куумирования камеры вакуумпровод 1 отепляют, а масло, выморозившееся на дисках 3 и 4 и обечайках 5, отводит либо в насос, либо в атмосферу.

Таким образом, использование иэоб- ретения позволяет повысить защитную способность устройства не только за счет увеличения суммарной охлаждаемой поверхчостн, но и за счет увеличения давления, при котором наступает молекулярный режим течения газа.

Формула изобретения

К Охлаждаемое защитное устройство содержащее охлаждаемый вакуумпровод, во внутренней полости которого размещен основной оптически непрозрачный охлаждаемый экран, выполненный в виде Набора разнесенных по длине части охлаждаемого яакуумпровода и соединенных между собой тепловыми мостами колцевых дисковs образующих усеченный

А

{О

конус со сплошным диском в меньшем основании, отличающееся тем, что, с целью повышения защитной способности устройства, во внутренней полости вакуумпровода расположен до- полнител ный экран, выполненный в .виде набора осесимметричных обечаек, например цилиндрических, причем обечайки установлены с зазорами относительно друг друга и сдединейы между собой и с охлаждаемым вакуумпроводом тепловыми мостами, а тепловой мост, соединяющий наружную обечайку со стеной вакуумпровода, выполнен в виде сплошной перегородки.

а каждый верхний торец наружной обечайки расположен ниже верхнего fop- ца каждой внутренней обечайки.