Вакуумный шлюз Советский патент 1990 года по МПК H01J37/00 

продольными 16 и шлюзовой заслонкой 8 может перемещаться только в осевом направлении,при этом продольный паз 15 на ползуне 10 должен быть совмещен с продольным пазом 20 на втулке 12. Ползун 10 имеет углубление 22,3 которое утапливается шарик 23,, предназначенный для срабатывания микропереключателя. 24 при повороте ползуна 10. Через штуцер 21 производится откачка шлюзового объема на предварительный вакуум с помощью электромагнитного вентиля 25 (фиг. 3),при

этом лампочка 26 сигнализирует о степени откачки шлюзового объема. Рычаг 27 с уплотнительным кольцом 28 служит для напуска воздуха в шпюзо- вой объем. Розетка 29 предназначена для подачи питания к электромагнитному вентилю 25. В колонне 7 электронного микроскопа вакуумный шлюз уплотняется с помощью уплотнения 30.

Вакуумный шлюз работает следующим образом.

Перед работой с дифракционными приставками вакуумный шлюз в закрытом положении устанавливается в колонну 7 электронного- микроскопа уплотняется уплотнением 3Qii, штуцер 21 подсоединяется к электромагнитному вентилю 25, к которому подключается розетка 29, а затем в колонне 7 электронного микроскопа создается высокий вакуум. Дифракционная приставка 3 с исследуемым объектом 4 вводится в шлюзовой объем, закрепляется в корпусе 1 при помогал резьбового кольца 5 и уплотняется уплотнителем 6. Поворотом рукоятки 11 (по стрелке, фиг.1 и 3) вакуумньй шлюз переводится из закрытого положения в положение откачки на предварительньй вакуум При этом ползун 10 поворачивается, шарик 23 выходит из углубления 22 и нажимает на кнопку микропереключателя 24, подавая сигнал через розетку 29 на открытие электромагнитного ве тиля 25 для откачки пшюзового об-ьема вакуумного шлюза на предварительный вакуум, сигнальная лa moчкa 26 загорается. Когда последняя погаснет, что указывает на конец откачки ваку- умного шлюза.на предварительный вакуум, дальнейшим поворотом рукоятки 11 вакуумный пшюз переводится в среднее положение. В этом положении про

Q

5

0

30

5

-35

40

45

дольный паз 20 на втулке 12 совмещается с продольным пазом 15 на ползуне 10 и со штуцером 21, входящим во втулку 12, что позволяет продольным перемещением рукоятки 11 в направлении стрелки (фиг,. 1) .ползуну 10 переместить втулку 12 с ввернутыми в нее продольными тягами 16 и шлюзовую заслонку . 8 в осевом направлении до упора, т.е. открыть вакуумный шлюз, при этом шлюзовой объем вакуумного шлюза сообщается с вакуумным объемом колонны 7 электронного микроскопа.

Переключение вакуумного.шлюза из открытого в закрытое положение производится в обратном порядке: перемещая рукоятку 11 в осевом направлении, сначала закрывают шлюзовую заслонку 8 и с помощью уплотнения 9 отсекают пшюзовой объем вакуумного шлюза от вакуумного объема колонны 7 электронного микроскопа, затем поворачивают рукоятку 11 в радиальном направлении из среднего положения в закрытое положение. Нажимая рычаг 27, напускают воздух в шлюзовой объем вакуумного шлюза, что позвол.яет извлечь дифракционную приставку 3.

Формула изобретения

Вакуумный шлюз, содержаш 1Й ци - линдрический корпус, шлюзовую заслонку, установленную соосно корпусу, соединенную с механизмом перемещения, и штуцер, закрепленный на корпусе, о тличающий ся тем, что, с целью уменьшения габаритов, корпус выполнен в виде двух коаксиальных цилиндров, торцы которых с одной стороны цилиндров герме-- тично соединены кольцевой перемычкой, в которой вакуумно-плотно размещены тяги, наружные концы которых соединены со шлюзовой заслонкой, а внутренние концы размещены между цилиндрами и соединены с механизмом перемещения, вцполненным в виде втулки, размещенной между, цилиндрами,; и ползуна с продольной прорезью, при этом на внешней стороне втулки выполнены поперечные пазы, в которых размещены штифты, закрепленные на внутренней поверхности ползу на, и продольная прорезь, в которой размещен штуцер.

/75

//

Фиг.1

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронных микроскопах. Целью изобретения является уменьшение габаритов вакуумного шлюза путем размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри корпуса. Корпус вакуумного шлюза выполнен из коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой. Шлюзовый объем вакуумного шлюза может отсекаться от вакуумного объема колоны электронного микроскопа шлюзовой заслонкой, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Работа вакуумного шлюза и особенности его конструкции показаны на чертежах приведенных в описании изобретения. 3 ил.

б;

//

S