Установка для нанесения покрытий в вакууме Советский патент 1989 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения тонких пленок при изготовлении изделий радиотехники,, электронной техники.Лзвестна вакуумная установка непрерывного действия, содержащая несколько рабочих камер, которые имеют индивидуальную откачку, несколько пцрозовых камер или шлюзовых устройств.

Недостатком известной установки является сложность конструкции.

Из известных технических решений наиболее близким по технической сущ.нрстй является установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая вакуумную камеру с крьш1кЬй, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки - выгрузки изделий, транспортирующее устройство .с направляющими.

(Л

Недостатком известной установки является сложность конструкции и эксплуатации.

Цель изобретения - упрощение конструкции установки и ее зксплуата- . ции - достигается тем, что в устам оо новке для нанесения покрытий в вакууме, содержащей вакуумную.камеру с

00 00 Од крышкой, разделенную перегородками С отверстиями на секции с размещенными .. в них источниками нанесения покрытий, пшюзовую систему загрузки - выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими, перегородки секции выполнены подпружиненньми и размещены между крышкой вакуумной камеры и направляющими транспортирующего устройства.

На фиг. 1 изображен общий вид ус тановки для нанесения покрытий в вакууме, разрез; на фиг. 2 - общий вид установки, разрез А-А.

Установка содержит вакуумную камеру 1 с кр1)Ш1кой 2, содержащую разъем

3788

3, разделенную перегородками 4 с отверстиями 5 на секции с размещенными в них источником 6 нанесения покрытий, шлюзовую систему 7 загрузкивыгрузки изделий, транспортирующее у устройство 8 с направляющими 9, герметично поджатыми в вакуумной камере 1 по плоскости разъема 3. Перегородки 4 секции выполнены подпружиненными и размещены между крышкой 2 вакуумной камеры и направляющими 9 транспортирующего устройства 8,

Наружное давление в..вакуумной камере поддерживается с помощью средства 10. В вакуумной камере 1 установлены натекателй 11 рабочего газа. Подвижные перегородки 4 перемещаются с помощью рычагов 12 через герметичные вводы 13, установленные на крышке 2. Изделия выгружаются из магазинов 14 и загружаются в магазины 15 через шлюзовую систему 7 загрузкивыгрузки.

Установка для нанесения покрытий в вакууме работает;.следующим образом После форвакуумной откачки секций вакуумной камеры 1 с помощью высоковакуумного откачного средства 10 производится достижение низкого давлеНИН, Для зтого в вакуумной камере 1 перемещают с помощью рычагов 12 чере герметичные .вводы 13 .подвижные перегородки .4 в крайнее верхнее положение, т,е, открывается и разгермети зируется вакуумная камера 1, Пойле достижения необходимого предельного давления в вакуумной камере, подвижные перегородки 4 перемещаются к направляющим 9, а в секции вакуумной камеры 1 через натекатели 11 напускается рабочий газ. Перемещением подвижных neperopoftoK 4 дросселируется скорость откачки вакуумной -камеры 1 и выставляется рабочее давление. При этом обеспечивается свободное перемещение под перегородками 4 по направляющим 9 транспортирующего устройства 8 и вакуумная блокировка секций вакуумной камеры 1, Включаются . источники 6 нанесения покрытий и производится загрузка изделий из магазина 14 через загрузочное шлюзовое устройство 7 на транспортирующее устройство 8, Транспортирующее устройство 8 перемещает изделие через секции вакуумной камеры I и затем они через разгрузочное шлюзовое устройство 7 поступают в магазин 15,

Для очистки секций вакуумной камеры 1 с источниками 6 покрытий в вакуумной объем напускается воздух и откидывается съемная крышка 2, При этом секции.вакуумной камеры 1 по разъему 3 выводятся вместе с источниками 6 нанесения покрытий на съемной крышке 2 вне установки, В вакуумном объеме остается в прежнем положении транспортирующее устройство 8 и направляющие 9, Это создает удобный доступ и обслуживание внутрикамерных устройств установки.

Такое техническое решение значительно улучшает конструкцию установки и ее эксплуатацию, так как вакуумный объем установки с вакуумной камерой; разделенной перегородками на секции, откачивается одним высоковакуумным средством, при зтом обеспечивается вакуумная изоляция секций между собой. Выполнение подвижных перегородок с отверстиями для прохождения транспортирующего устройства упрощает переход на изготовление изделий других габаритов и регулирование давления в секциях вакуумной камеры.

fS

О

О

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащая вакуумную камеру с крышкой, разделенную перегородками с отверстиями на секции с размещенными в них источниками нанесения покрытий, шлюзовую систему загрузки - выгрузки изделий, транспортирующее устройство с направляющими, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции установки и ее эксплуатации, перегородки секции выполнены подпружиненными и размещены, между крьшкой вакуумной камеры и направляющими транспортирующего устройства.

v-тттл

/

.г