Способ выделения атомов и ионов водорода Советский патент 1990 года по МПК C01B3/50 

Изобретение относится в вакуумной технике и служит для выделения ионов и быстрых атомов водорода из газовых смесей.

Целью изобретения является увеличение эффективности выделения и ускорение процесса выделения.

Данные, полученные в результате сравнения известного и предлагаемого способов, приведены в таблице.

Формул а и зобретени я

Способ выделения атомов и ионов водорода из газовых смесей, включающий их пропускание через металлическую мембрану, содержащую примеси, обладающие способностью к сегрегации на поверхность и затрудняющие термическое выделение водорода, отличающийся тем, что. с целью увеличения эффективности выделения и ускорения процесса выделения, используют мембрану из ниобия, содержащего кислород в количестве 0.2-2,0 ат.% и на ее выходную поверхность наносят слой палладия толщиной 10 мкм.

СО

с

Os

о

Os

ь.

.

ю

Продолжение таблицы

Изобретение относится к вакуумной технике. Целью изобретения является повышение эффективности выделения и ускорение процесса выделения. Способ заключается в использовании мембраны из ниобия, содержащего кислород в количестве 0,2-2,0 ат.%, и нанесении на ее выходную поверхность слоя палладия толщиной 10^-3-10^-2 мкм. При этом в 2 раза повышается эффективность выделения и в 50 раз увеличивается скорость выделения. 1 табл.