Пленочный предохранитель Советский патент 1991 года по МПК H01H85/06 

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для защиты электронных приборов в интегральном исполнении.

Цель изобретения - повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирование токов срабатывания в широком диапазоне.

На чертеже изображен пленочный предохранитель, поперечное сечение.

Пример. На подложку 1 (фиг„1) из полимерной пленки марки 4ФМБ толщиной 100 мкм или целлулоида, при 30СС, высокоскоростным реактивным катодным распылением мишени из индия в смеси газов аргон-кислород, при общем давлении 5ЧСГ мм рт.ст., удельной мощности разряда 2 Вт«см нанесена пленка 2 оксида индия толщиной 1000-f50 А. При изменении парциального давления кислорода в рабочей

камере получают пленки оксида индия с различным содержанием кислорода и, соответственно, с различной электрической проводимостью. Посредством фотолитографии формируют образцы размерами 20 X 10 мкм

Пленочные токододводяшие проводники 3 получают высокоскоростным катодным распылением алюминиевой мишени в атмосфере чистого аргона и окончательно формируют посредством фотолитографии .

Использование в качестве расплавляемого материала оксида индия с различным содержанием кислорода дает возможность менять проводимость расплавляемого материала в пределах 10 - 10Г тем самым определять ток срабатывани,.. предохранителя.

В таблице приведены значения токов срабатывания для образцов размерами 20 10л 0,1 мкм с различной проводимостью на подложках из целлулоида и материала Ф4МБ,

Проводимость,

I, мА

5

дает следующим положительным технико-экономическим эффектом:

увеличивается быстродействие предохранителя, что повышает эффективность зашиты приборов интегральной электроники от электрических перегрузок по току}

достигается возможность выбора тока срабатывания в широком диапазоне его измерений, что расширяет возможность применения пленочного пре- дохранителя}

уменьшается стоимость предохранителя за счет устранения из устройства драгоценных металлosj

упрощается конструкция и технология изготовления предохранителя.

Формула изобретения

1. Пленочный предохранитель, содержащий изолирующую-подложку, на которой расположен расплавляемый мате- риал, и токоподводящие пленочные проводники из материала с более высокой проводимостью, чем у расплавляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия срабатывания, изолирующая подложка выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности не выше 10 1Вт/м-К.

0

0

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для защиты электронных приборов в интегральном исполнении. Целью изобретения является повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирования токов срабатывания в широком диапазоне. Пленочный предохранитель состоит из изолирующей подложки, на которой расположена пленка расплавляемого материала и токоподводящие пленочные проводники (ТПП). Благодаря тому, что ТПП выполнены из материала с более высокой проводимостью, чем пленочный расплавляемый материал, а изолируюцая подложка выполнена из материала проводности вышается быстродействие срабатывания, т.к. уменьшается теплоотвод через подложку. Выбор тока срабатывания обеспечивается различным содержанием кислорода в расплавляемом оксиде индия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил,, 1 табл. с коэффициентом тепло- не выше 10 Вт/м-К, поа S (Л

По сравнению с известным предлагаемый пленочный предохранитель обла. з.

ЕГ

У//////////77

ЕГ:ЗЗ

////77