Способ испытания диэлектрических пленок Советский патент 1991 года по МПК G01N3/42 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок , и является усовершенствованием известного способа по основному авт. св. № 1270638.

Цель изобретения - повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния.

Способ реализуется следующим образом.

Пленку помещают на электропроводную подложку, на ее поверхность в области контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, нагружают индентор с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, вдавливают его в пленку, определяют силу вдавливания, в процессе которого измеряют электрические емкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, зависящего от перемещения индентора, производят сравнения их, определяют глубину внедрения индентора и с ее учетом определяют твердость, диэлектрическую проницаемость, пористость, пластические, прочностные и вязкоупругие свойства пленки.

Формула изобретения

Способ испытания диэлектрических пленок по авт. св. N 1270638, отличающийся тем, что. с целью повышения точности, на поверхность пленки в область контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаО

со

СП

о о

ю

емости, выбираемой в диапазоне заданной внедряют индентор, имеющий поверхность, диэлектрической проницаемости пленки, и эквидистантную поверхности пленки.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием способа по авт. св. № 1270638. Цель изобретения - повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния. На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки Определяют силу вдавливания и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой - глубину внедрения индентора. С учетом этих величин определяют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки СП