СОРБЦИОННЬШ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1966 года по МПК F04B37/04 H01J19/70 

Известны сорбционные вакуумные насосы, использующие в качестве геттера смесь щелочного и щелочноземельного металлов. Также известны сорбционные насосы, содержащие сосуд со щелочноземельным металлом, используемым в качестве геттера, и устройство для его очистки. В таких насосах устройство для очистки геттерного металла значительно усложняет конструкцию насоса, кроме того, металл не очищается от летучих примесей, которые, уменьшая его сорбирующие свойства, снижают скорость откачки насоса.

Предлагаемый сорбционный насос отличается от известных тем, что в качестве средства для очистки щелочных металлов использована металлическая мембрана, закрывающая сосуд со щелочными металлом, обеспечивающая выход из сосуда только щелочного металла. Мембрана выполняется, например, из нержавеющей стали или титана.

На чертеже изображен предлагаемый насос в разрезе.

В корпусе / насоса расположен охлаждаемый водой или жидким азотом медный экран 2, на который напыляется щелочной металл из сосуда 3. Сосуд закрыт мембраной 4, обеспечивающей выход нз сосуда только щелочного металла и выполненной из нержавеющей стали или титановой жести толщиной около 0,5 мм.

Проникновение щелочного металла, например лития, через мембрану обусловливается селективной диффузией щелочного металла при повыщенных температурах (700°С), при этом примеси остаются в сосуде. Сосуд выполнен из металла, например нержавеющей стали. Нагрев сосуда в насосе осуществляется индукционной катушкой 5 или прямонакальным электронагревателем.

Пополнение щелочного металла в сосуде по мере его расхода происходит путем подачи его в сосуд из бачка 6. Количество поступающего в сосуд щелочного металла регулируется игольчатым вентилем 7. Загрузка щелочного

металла в бачок производится в нейтральной среде (аргон).

Насос подсоединяется к системе и откачивается вспомогательным пароструйным насосом до давления хор. Затем сосуд

прогревается до температуры 700-750°С и в него подается щелочной металл из бачка. Чтобы обеспечить подвижность рабочего вещества - щелочного металла, бачок и трубопровод прогреваются до температуры плавления щелочного металла, например до 200°С - в случае использования лития.