УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ГАЗОНАПОЛНЕННЫХ ИЗДЕЛИЙ Советский патент 1995 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет контролировать герметичность полых изделий, опрессованных повышенным давлением пробного газа, например, полупроводниковых приборов методом течеискания.

Целью изобретения является повышение достоверности путем повышения надежности герметизации камер.

На фиг. 1 изображена схема устройства для контроля герметичности, разрез; на фиг.2 - то же, вид сверху; на фиг.3 - камера с крышкой и системой рычагов, разрез; на фиг.4 - сечение А-А на фиг.3; на фиг.5 - барабан и камера, разрез; на фиг.6 - барабан с крышкой на позиции И измерения; на фиг.7 - то же, на позиции К продувки детектора утечки; на фиг.8 - сечение Б-Б на фиг.7; на фиг.9 - сечение В-В на фиг.8.

Устройство для контроля герметичности газонаполненных изделий содержит барабан в виде многопозиционной поворотной карусели 1, установленной на закрепленной на основании 2 вертикальной оси 3 и соединенной с мальтийским крестом 4, находящимся в зацеплении с водилом 5 электромеханического привода (не показан).

На карусели 1 установлены корпуса 6 камер 7 для размещения в них изделий 8, и закреплены петли 9, число которых соответствует количеству камер 7. На оси 10 петли 9 установлены рычаги 11, 12 и 13. Петля 9 имеет упор 14, с которым взаимодействует рычаг 11. На рычаге 11 установлен толкатель 15 с возможностью возвратно-поступательного перемещения в направлении продольной оси камеры 7, в нижней части которого закреплена крышка 16 через шаровую опору 17. В верхней части толкателя 15 установлена регулируемая пружина 18, удерживающая крышку 16 в верхнем крайнем положении. В толкателе 15 установлен штифт 19, который взаимодействует с рычагом 12, имеющим глухое отверстие 20 для установки пружины 21, другой конец которой установлен в глухом отверстии 22 рычага 13, в верхней части которого шарнирно установлен ролик 23. На рычаге 13 закреплен палец 24, проходящий через отверстие 25 рычага 12, которое ограничивает свободный ход пальца 24 и соответственно рычага 13.

Корпус 6 в верхней части имеет кольцевую канавку 26, охватывающую камеру 7 и имеющую отверстия 27 и 28. В корпусе 6 выполнены отверстия 29 и 30. На вертикальной оси 3 установлена неподвижная планшайба 31, на которой закреплен силовой копир 32 и копир 33, профиль которого открывает и закрывает крышки 16.

На карусели 1 при помощи штифтов 34 закреплен барабан 35, крышка 36 которого подпружинена при помощи пружины 37 и имеет возможность вертикального перемещения относительно планшайбы 31 по штифтам 38 под воздействием пружины 37. В крышке 36 барабана 36 выполнена канавка 39, соединенная с газопроводом и газораспределителем (не показаны). Канавка 39 через отверстия 40, выполненные на торце барабана 35, трубопровод 41 и отверстия 27 соединена с защитными канавками 26, выполненными в корпусе 6 камеры 7.

Отвод газа из защитных канавок 26 производится через отверстия 28, трубопровод 42, отверстия 43 в канавке 44, соединенной через отверстия (не показаны) с атмосферой.

В крышке 36 выполнены отверстия 45, 46, в барабане 35 выполнены отверстия 47, 48, соединенные трубопроводами 49, 50 с отверстиями 29, 30, выполненными в корпусе 6 камеры 7, по которым производят продувку камеры 7 от распределителя газа. Отверстие 51 соединено с детектором утечки (не показан).

Через отверстие 52 в крышке 36, отверстие 48 в барабане 35, по трубопроводу 50 через отверстия 29 и 30 в корпусе 6 камеры 7, трубопровод 49, отверстие 47 в барабане 35, отверстие 51 в крышке 36 осуществляют продувку камеры 7 на детектор утечки при контроле изделий на герметичность. Через отверстие 53 в крышке 36 и канавку 54, выполненную на торце барабана 35, осуществляют интенсивную продувку детектора утечки газопотоком от распределителя с регулятором (не показаны).

Камеры 7 при вращении карусели 1 занимают следующие позиции (см.фиг.2): Г - позиция загрузки камеры 7 изделием 8; Д - промежуточные позиции, необходимые для осуществления герметизации и разгерметизации камер 7; Е - позиции продувки камеры 7; Ж - позиции накопления; И - позиция измерения; К - позиция продувки детектора утечки; Л - позиция выгрузки изделия 8 из камеры 7.

Устройство работает следующим образом.

Карусель 1 совершает периодическое вращение, перемещая корпуса 6 камер 7 на угол α = 360^o/n, где n - число камер 7 от электромеханического привода (не показан) через водило 5 и мальтийский крест 4. На позиции Г загрузки изделий 8 в камеру 7 крышка 16 под действием копира 33 через рычаги 11-13 открыта. В камеру 7 загружают опрессованные пробным газом изделия 8, подлежащие контролю на герметичность.

При последующем повороте карусели 1 и перемещении камеры 7 крышка 16 через рычаги 11-13 под действием копира 33 закрывает камеру 7. При этом копир 33, взаимодействуя с роликом 23 через рычаги 11-13, поворачивает толкатель 15 с крышкой 16. Рычаг 11, взаимодействуя с упором 14, останавливается и крышка 16 зависает на расстоянии 2-3 мм от плоскости корпуса 6, далее ролик 23 начинает взаимодействовать с силовым копиром 32, поворачивая рычаг 13, который через пружину 21 начинает давить на рычаг 12, такое перемещение рычага 13 обеспечивается размещением отверстия 25. Рычаг 12, надавливая на штифт 19, начинает перемещать толкатель 15 с крышкой 16, преодолевая усилие пружины 18, вертикально вниз, чем обеспечивает параллельное придавливание крышки 16 к корпусу 6 камеры 7, предотвращая износ крышки 16 и корпуса 6 камеры 7 в плоскости разъема. Наличие шаровой опоры 17 обеспечивает надежное прилегание крышки 16 к корпусу 6 камеры 7, исключает возможность перекоса крышки 16 и нарушение герметичности камеры 7.

Камера 7 с изделиями 8, загерметизированная крышкой 16 при повороте карусели 1, поступает на позиции продувки Е, в это время газ-носитель из канавки 39, выполненной в крышке 36 барабана 35 через отверстие 40, трубопровод 41, отверстие 27 в корпусе 6 камеры 7 проходит по защитной канавке 26, надежно защищая камеру 7 от окружающей среды, создавая защитную полость вокруг камеры 7 и через отверстие 28 по трубопроводу 42, отверстие 43 и канавку 44 сбрасывается в атмосферу. Через отверстие 45, отверстие 47, трубопровод 49, отверстия 29 в корпусе 6 в камеру 7 подается газ-носитель, который выдувает содержимое камеры 7 в отверстие 30, по трубопроводу 50 и через отверстие 48, отверстие 46 в атмосферу.

При последующих поворотах карусели и дальнейшем перемещении корпуса 6 камера 7 находится на позициях Ж накопления пробного вещества, выходящего из негерметичного изделия, при этом отверстия 47 и 48 запираются крышкой 36, а между внутренней полостью негерметичного изделия 8 и загерметизированной полостью камеры 7 происходит газообмен.

Затем камера 7 поступает на позицию И измерения, при этом отверстия 47 и 48, выполненные в барабане 35, совмещаются с отверстиями 51 и 52, выполненные в крышке 36 барабана 35 и полость камеры 7 подключается к регулятору "Измерение" с детектором утечки (не показаны).

Газ-носитель от регулятора "Измерение", проходя по отверстиям 52, 48, трубопроводу 50, отверстию 30 в корпусе 6 камеры 7, вытесняет газовую смесь из камеры 7 через отверстие 29 по трубопроводу 49, отверстиям 47, 51 в детектор утечки, который по составу газовой смеси, полученной из камеры 7, и наличию в ней пробного газа выдает сигнал "Брак" или "Годен".

При дальнейшем движении барабан 35 занимает положение, когда канавка 54 соединяет отверстие 53 регулятора "Продувка" и отверстие 51, соединенное с детектором утечки. Газ-носитель от регулятора "Продувка" (не показан) проходит через отверстие 53, канавку 54 барабана 35, отверстие 51 и детектор утечки, обеспечивая интенсивную регулируемую продувку детектора утечки перед контролем следующего проверяемого изделия 8, освобождая тем самым детектор утечки от остатков пробного газа и исключая его влияние на последующее измерение. В этот момент происходит разгрузка камеры 7 и сортировка изделия 8 согласно сигналу "Брак" или "Годен".

При движении карусели 1 корпус 6 камеры 7 вновь перемещается на позицию Г загрузки. В случае, если в камере 7 находилось не герметичное изделие 8, камера 7 не загружается изделием 8 и проходит весь цикл, в конце которого эта незагруженная камера 7 соединяется с детектором утечки, который выдает сигнал "Брак" или "Годен", что соответствует наличию или отсутствию остатков пробного газа в ней, это исключает возможность ложного забракования изделия 8, вызванного наличием остаточного пробного газа в камере 7.

Применение устройства для контроля герметичности газонаполненных изделий данной конструкции позволит повысить надежность работы устройства, достоверность результатов измерений и исключить необходимость многократной перепроверки забракованных изделий для выявления из их числа ложно забракованных из-за наличия остаточного количества пробного газа на крышке камер и в полости детектора утечки, что позволяет повысить производительность труда и процент выхода годных изделий.

Изобретение относится к контролю герметичности газонаполненных изделий методом течеискания и позволяет повысить достоверность путем повышения надежности герметизации камер. Устройство содержит вращающийся барабан с камерами 7, крышки 16 с приводом их перемещения. Детектор утечки и система откачки или продувки камер сообщены через газораспределитель с камерами 7. Привод перемещения крышки 16 выполнен в виде двух рычагов 12 и 13, шарнирно закрепленных на одной оси 10 и подпружиненных друг относительно друга. Толкатель 15 шарнирно закреплен с крышкой 16 и установлен в рычаге 12 подвижно в направлении вдоль продольной оси камеры 16. Имеются два копира, взаимодействующих последовательно соответственно с роликом 23, установленным на рычаге 13 и со свободным торцом толкателя 15. После установки изделия в камере 7 ролик 23 по копиру поворачивает рычаги 12 и 13, вывешивая крышку 16 над камерой 7. Затем второй копир опускает толкатель 15 с крышкой 16 в направлении камеры 7. Крышка 16 плоскопараллельно опускается на камеру 7. Затем проводят операции контроля. 9 ил.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ГАЗОНАПОЛНЕННЫХ ИЗДЕЛИЙ, содержащее вращающийся барабан с рабочими камерами, крышки герметизации камер с приводом их перемещения, детектор утечки и систему откачки или продувки камер, соединенные через газораспределитель с камерами, отличающееся тем, что, с целью повышения достоверности путем повышения надежности герметизации камер, каждый из приводов перемещения крышки выполнен в виде двух рычагов, шарнирно закрепленных на барабане на одной оси и подпружиненных один относительно другого, ролика, закрепленного на первом рычаге, толкателя, шарнирно соединенного одним торцом с крышкой и установленного на втором рычаге с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль продольной оси камеры, и двух копиров, взаимодействующих последовательно соответственно с роликом и с вторым торцом толкателя.