Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия Советский патент 1991 года по МПК G01M3/04 

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля герметичности полых изделий.

Цель изобретения - повышение чувствительности путем повышения эффективности диссоциирующего воздействия на вытекающий газ.

Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия реализуется следующим образом.

Изделие, размещенное в вакуумной камере, в которой создано разрежение менее рт.ст., заполняют многоатомным газом, например хладоном-12 (CFgClj). Перемещают датчик давления - манометрический ионизационный преобразователь типа ПМИ-2 по поверхности проверяемого изделия на фиксированном расстоянии (например ,10 мм). При прохождении датчика давления над течью происходит ч втекание молекулярного пучка хладо- 1 на-12 во внутреннюю полость датчика, где происходит диссоциация хла- дона в результате электронного удара и термодиссоциации на горячем катоде. Коэффициент относительной чувствительности ПМИ-2 к хладону-12 . близок к 3. Это говорит о том, что в молекуле хладона-12 происходит обрыв связей, в результате чего образуется молекула молекулярного хлора (С12). Масс-спектрометр, настроенный на индикацию CL,, дает реакцию в месте течи. Местоположение течи определяют по местоположению датчика давления с учетом постоянного времени процесса откачки.

Были проведены испытания способа в лабор аторных условиях на нескольких контрольных течах, установленных на имитаторе изделия. Исследовалась чувствительность локализации течей от 0.1 л мкм рт.ст./с и менее до порога чувствительности. Пример для одной из контрольных течей с потоком по воздуху 2«10 л«мкм рт.ст./с.

КЛ

о ел

ю to

При вакууме в камере в диапазоне от 1«10 до рт.ст. эта течь не фиксируется вакуумметром ВИТ-3 с преобразователем ПМИ-2. При замещении воздуха на хладон-12 по по вакуумметру течь также не видна, .однако масс-спектрометр, настроенный на Cl, дает ощутимые показания. Определить порог чувствительности до настоящего времени не удалось, так как хладон-12. разлагаясь, дает молекулы С1, количество которых трудно оценить из-за специфичности газа. Но можно сказать, что на хладоне-12 течи порядка рт.ст./с обнаружить можно четко с приемлемой скоростью перемещения ПМИ-2 по поверхности изделия.

Сканирование датчика давления по поверхности изделия в месте течи приводит к образованию нового вещества в количестве, соизмеримом с потоком через течь, что совсем нетрудно зафиксировать масс-спектрометрическим

способом. Это происходит потому, что в преобразователь ПМИ-2 входит большая часть потока из течи на из1 делии,, которая проходит внутреннюю полость преобразователя два и более раза, где вытекший из течи многоатомный газ успевает диссоциировать. Формула изобретения

Способ обнаружения мест негерметичности полого изделия путем размещения изделия в вакуумной камере, заполнения его контрольным газом, сканирования наружной поверхности изделия средством диссоциации контрольного газа, регистрации продукта диссоциации в вакуумной камере и определения по нему, места негерметичности, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в качестве средства диссоциации контрольного газа используют манометрический ионизационный преобразователь.

Изобретение относится к контролю герметичности и позволяет повысить чувствительность обнаружения мест негерметичности. Размещают изделие в вакуумной камере и запол- . няют его многоатомным газом, например хладоном-12. Перемещают манометрический ионизационный преобразователь по поверхности изделия. Вытекающий из течи газ диссоциирует в полости преобразователя в результате электронного удара и термодиссоциации на горячем катоде. Масс-спектрометр, настроенный на регистрацию продукта диссоциации (хлора), дает реакцию в месте негерметичности.