Контактное устройство для контроля планарных проводников Советский патент 1991 года по МПК H05K1/18 G01R1/06 

Изобретение относи гея к технологи- оборудованию электронной про- мьпиленности, а именно к устройствам коыроля проводниковых соединений гибридных микросхем, в основном сформированных из подложки проводниковых структур, сосюяцнх из двух и более слоев, и можег быть использовано в микроэлектронике при проведении гер- мотренировок , испытаний на надежность и г. и.

1 Цель изобретения - повышение надежности кон так:ирования.

На фиг 1 предпзвтено контактное устройство для конiроля ппанарных проводников; на фиг. 2 - контактная головка, вид сверху; на фиг. 3 магнитное основание с проверяемой подложкой.

Ко иактное устройство для к..,- пя п.1лнарннх лровс)дников 1оторж1. i корпус 1, контактную гото, у 2, i oj, 3 пт феррита бария, и- ш t i , че io для установки кон трсмщ у i мог с- ,j 1 т я и выполненный по форме к М1 ipo ini . емо- го изделия. Основой копгэьп io ловки служит гнокая ттастична мемЬ- рана 4, на которой нанесены реперньк метки совмещения 5, а на внешней роне мембраны нанесен ферромагнитным слои 6, на прошвоположной стороне имеются контакт, 7 с проводчиками 8. а также контакты 9, изолирующий слои 1U ферромагнитной пленки и ферромагнитный слой 1 1 , который ратменен по всей под ложке и поверх проводниковых выводов (кроме контактов 7, 8, 9 и меток совмещения 5).

&

о.

со

х

/в.

fr

зif

Koin iKinoe yc ipom IHO т,тя контроля планарпых проводит on работ следукицим обритом.

В основании с гота 3, вппотн. нн М о и Феррита бария, уль i pt н KOBi IM «ie годом Формируется гнездо, глубина н Форма которого соответствую форме контролируемого ичденил. Поверхность с гота, со сюроны гнезда чамагничивл - ют ,

Подложку 12 устанавливают в гнездо с гоня 3, при этом поверхность сюча и подложки образуют беге туленчэ i vio плоское,, к которой та i ем притяти- вается контактная тотовкт, 2, кото- ртя способна намагнитив т гься , вслед- СТПИР того, ч;о обр ее ( торопи соцер- жт г ферромагни1ныр сдои Сфиг. 1 и шг. 2)

Чапее осущсствтяюг г овмещ ниг кон- f 1кгной юпонки 2 и подложки 12, дпя j го подложку помешат в ГЧРЗЛО фсо п, гиггнипюго сю та 3 сЬш . 3). Hoc ie

у гтновки iотопки ча поворхнос н

ciona 3 с подложкой 1 ot vueciBUHLiс надежный контакт двух нтм и ни юнных тоцррхностеи, с готика 3 с подножкой титовки 2. Контакт обеспечиваюi мча- одтря получению рачномерпого прижи п вvx полерхносjРЦ, ко горчи дости- гЬормирор 1ния 6ecciv и нчагой ЧЮСКОС1И кон i акт ирования , i t пидацни Tisopa i он ык тру- Ч«и поверхностями, a in же ча счет при i п нвания нэмагниче П о1 noriepx- пск И стопа 3 и нам и НИЧРЧНМ фсрро- г 1итных стоен Ь, 10, 11 готовки 2.

Ьощткгные тшощт (ки HI нот iynr ч,тя ПОДКТЮЧРНИЯ кота IHOIO yi тронет 4i к ав гома ппировччнпц сщ IGMP коч п пя.

ИГПОТЬЗОР ние npt гчолгино о коп

П1 ГНОГО yclponCTBT ЛЛП 1- 1Н1РОЧ1

04

тек трнчег-ких гоечиненнй гибридной ппкрпгхемп потвочяег повысить надежно м ь коч тирования благодаря обос- печг ним прижима контактной т-оловки к тговерхнос in контролируемо подто/ft- кн; уттростигь процесс кон гак тропа - ния проверяемого тделия и контактного устройства; а ыкже обеспечит т. автоматизированную проверку схем.

jc П

5

Q

,„

5

Формула изобретения

1. Контактное устройство дпя контроля планарных проводников, содержащее корпус, конгакшую точовку и стол для крепления кон тротируемого итдешя, причем контактная головка выполнена в виде контактного попя г шпчарными выводами, изготовленного в многослойной мембране, в которои один из слоев выполнен из этастичного диэлектрика, контакты пропущены через первый диэлектрический слой, токове- nviine дорожки от контактов размещены между первым и вторым диэлектрически ми слоями, отличают сеся тем, что, с целью повышения надежности контактирования, в этасгичную мембрану введен дополнительный ди эпекгрическии слой, размещенный с внешней стороны мембраны, причем первый, второй и дополнительный диэлектрические слои выполнены из ферромагнитной пленки.

2 Устройство по п, 1, о т ч и - ч ающееся тем, что стол для крепления контролируемого изделия изготовлен в виде намагниченной пластины из ферромагнитного материала, например феррита бария, и в нем выполнено гнездо по форме контротируе- мот о изделия.

J

Фиг ;

5

P X

X

7

ruj- 7

7

/