Способ изготовления электрофотографического носителя Советский патент 1991 года по МПК G03G5/08 

Изобретение относится к электрофотографии и может быть использовано при изготовлении промежуточных носителей изображения.

Целью изобретения является увеличение фоточувствительности и ресурса носителя.

Способ осуществляют следующим образом.

В вакуумной установке на электропроводящую подложку последовательно наносят селен. На начальной и конечной стадиях нанесения его осуществляют легирование в газовой среде, содержащей синглетный

-г

1-3 .

кислород при давлении 10 - 10 мм рт.ст., при температуре испарителя 240 ±5°С, причем содержание синглетного кислорода от всего кислорода составляет 10-20%. Легируют селен до получения толщины легированных слоев, равной 2-6 мкм. Применение ускоряет процесс легирования селена и обеспечивает сшивание его полимерных молекул без кристаллизации, причем содержание атомарного кислорода не должно превышать 1%. Эти условия обеспечиваются специальной приставкой, предназначенной для возбуждения напускаемого в камеру кислорода в синглетное состояние.

Легирование селена возможно проводить в 5 смеси кислорода с инертным газом или ат- мосфере воздуха при давлении 10 - 10 мм. Уменьшение толщины легированного слоя ниже 2 мкм приводит к снижению фоточувствительности и ресурса электрофотографического носителя. Увеличение толщины сверх 6 мкм также приводит к заметному снижению фоточувствительности электрофотографического носителя в наиболее фотоактивной спектральной (синей, зеленой) области видимого спектра света из-за поглощения этих лучей в селене. При давлении кислорода меньше 10 3 мм рт.ст. электрический разряд, возбуждающий молекулярный кислород, не возникает. Увеличение давления кислорода выше 10 мм рт.ст. приводит к нарушению всего технологического процесса селенирования и выходу из строя откачной системы установки. В процессе легирования в селеновом слое происходят следующие физико-химические процессы. Возбужденные молекулы 02 взаимодействуют с молекулами селена на поверхности напыляемого селенового слоя с образованием малоподвижных (с поперечными молеЁ

О

ел оо

ю

кулярными связями) примесных центров акцепторного типа. Имеющиеся в селеновом слое более подвижные примеси донорного типа (примеси металлов и другие) в процессе диффузии проникают в легированный слой и образуют в нем малоподвижные до- норно-акцепторные комплексы. В результате формируется оптимальная структура селенового слоя, включающего легированные слои на границе селена с подложкой и на внешней поверхности селенового слоя, и транспортный слой чистого селена, расположенный между легированными слоями. Благодаря легированию селенового слоя О2 на начальной и конечной стадиях происходит более полная очистка транспортного слоя от примесей, вследствие большого коэффициента диффузии примесей в полужидком состоянии селена, что позволяет использовать любые, но достаточно чистые (не ниже марок СВЧ) марки селена.

Пример. Изготавливают две опытные партии по 5 шт. цилиндрических селеновых электрофотографических носителей изображения для ротационных копировальных аппаратов (внешний диаметр подложки 270 мм, длина 680 мм). Селен марки СВЧ испаряют из испарителя, установленного параллельно оси подложки на расстоянии 80 мм от внешней цилиндрической поверхности подложки, при температуре расплавленного селена 240°С. При нанесении селена 2 мкм/мин

подложку равномерно вращают вокруг ее оси с угловой скоростью 6 об/мин, В качестве подложки используют цилиндрическую дюралюминиевую подложку, на которую

при температуре 85°С наносят термическим испарением селеновое покрытие в течение 30. В течение первых 2 мин. и последних 2 мин. напыление ведут в атмосфере синглетного кислорода, при давлении в вакуумной камере 5-10 мм рт.ст. По окончании нанесения последнего слоя селенового покрытия, легированного синглетным кислородом, испаритель выключают и электрофотографический носитель охлаждают в течение

1 мин до 40°С. В камеру впускают атмосферный воздух и электрофотографический носитель вынимают из камеры.

Формула изобретения Способ изготовления электрофотографического носителя, включающий последовательное вакуумное нанесение на электропроводящую подложку слоев селена и легирование селена кислородом, о т л и ч а- ю щ и и с я тем, что, с целью увеличения фоточувствительности и ресурса носителя, легирование осуществляют на начальной и конечной стадиях нанесения селена в газовой среде, содержащей синглетный кисло- род с давлением 10 - мм рт.ст. до формирования легированных слоев толщиной 2-6 мкм.

Изобретение относится к способу изготовления электрофотографического носителя Цель - увеличить производительность и ресурс носителя. На электропроводящую подложку электрофотографического носителя наносят слой селена. На начальной и конечной стадиях нанесения селена осуществляют легирование его в газовой среде. Газовая среда содержит синглетный кислород с давлением 10 - 10 мм рт.ст. Толщина легированных слоев составляет 2- 6 мкм.