СПОСОБ КОНТРОЛЯ БЛОЧНОСТИ МОЗАИКИ НЕКУБИЧЕСКИХ МОНОКРИСТАЛЛОВ Советский патент 1964 года по МПК G01N24/08 

Способ предназначен для контроля блочности мозаики выращенных монокристаллов, применяемых в полупроводниковой технике и квантовой радиоэлектронике, к которым предъявляются высокие требования с точки зрения совершенства их структуры.

Известные способы рентгенографического и оптического анализов блочности мозаики трудоемки, имеют малую точность. Способ электронного парамагнитного резонанса накладывает существенные ограничения на размеры образцов.

Предложенный способ контроля блочности мозаики с помощью ядерного магнитного резонанса основан на том, что спектр для монокристаллов некубической сингонии с осью симметрии не ниже третьего порядка при наличии электрического квадрупольного момента резонирующих ядер состоит из 21 компоненты. Положение этих компонент зависит от ориентации кристалла в магнитном поле спектрометра ядерного магнитного резонанса. Исследуемый монокристалл устанавливается в спектрометре ядерного магнитного резонанса так, что его ось симметрии образует некоторый оптимальный угол в опт с направлением поля магнита. Производится запись компоненты спектра. Кристалл ориентируется по спектру ядерного магнитного резонанса, при этом

блоки мозаики, имеющие углы разориентировки кристаллической оси AOi, Ав г и т. д., вызывают расщепление каждой сателлитной линии на ряд дополнительных линий. Из изменения расстояний между центрами линий расщепления для каждой сателлитной линии спектра и угла вопт определяют углы Авх, Ав2 и т. д. В случае малых углов разориентировки блоков увеличение расщепления и повышение точности достигается путем записи сателлитных линий спектра, наиболее удаленных от центральной компоненты.

С помощью описанного способа контроль блочности мозаики монокристаллов проводится быстро и с высокой точностью.

Предмет изобретения

Способ контроля блочности мозаики некубнческих монокристаллов с помещением их в магнитное поле, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расщирения области применения методики определения углов разориентировки блоков мозаики, кристаллы ориентируют по спектру ядерного магнитного резонанса и измеряют расстояние между центрами дополнительных линий расщепления для каждого сателлита и угол между осью симметрии кристалла и магнитным полем.