со
С
Изобретение относится к электротехнике и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов со сложной конфигурацией. Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов. Получение рисунка осуществляется разбиением зоны формирования спирального элемента на N секторов (N*983) осевыми линиями последовательным перемещением сфокусированного на фотопластинку светового луча из начальной точки спирального элемента по окружности радиуса RO, где RO - начальный радиус спирального элемента, в пределах первого сектора, с последующим скачкообразным увеличением радиуса дуги по соотношению RK = RK-1 + D/N (K = 1,2...2) при переходе из одного сектора в другой. 2 ил.
Изобретение относится к электротехнике и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов, которые имеют сложную конфигурацию.
Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов.
На фиг.1 показан спиральный элемент; на фиг.2 приведен образец фотошаблона со спиральными элементами, полученными предлагаемым способом
На фиг.1 изображен спиральный элемент 1 с центром в точке О и шагом витков D, зона формирования которого ограничена двумя окружностями 2 и 3 с радиусами R0 - начальный и RKOH - конечный.
Зона формирования спирального элемента 1 разбита на п секторов () осевыми линиями +Х. -X, +Y, -Y, +Z. -Z, проходящими через центр О. В данном частном случае п
6 Центры дуг, формируемых в секторах, расположены в точках пересечения упомянутых осевых линий с окружностью 4 радиуса
г - (точки а. Ь, с, d, e, f) Направление
скачкообразного перемещения центров дуг по окружности 4 показано стрелкой 5, а направление развертки спирального элемента - стрелкой 6.
Способ включает следующую последовательность операций.
Задают на фотопластине центр рисунка спирального элемента 1 (точка О, фиг.1); определяют радиусы границ R0 и RKOH зоны формирования спирального элемента, где Ro RKOH (окружности 2 и 3), разбивают зоны формирования спирального элемента 1 на п секторов (п 3) осевыми линиями -i X, -X, +Y, -Y, +Z, -Z, проходящими через центр О спирального элемента 1, опродмяют ра
О
о
О
диус расположения центров дуг спирального элемента 1 из условия г - ; устанавливают экспонирующий луч в начальную точку спирального элемента 1, расположенную на пересечении окружности 2 радиуса г и первой оси (в данном случае - оси -X), проходящей через центр спирального элемента; перемещают экспонирующий луч в каждом из секторов по круговой дуге, при этом центр дуги, формируемой между 1-й и 1+1-й осью, располагают на l+2-й оси по направлению развертки спирального элемента (стрелки 5 и 6), где i 1,2,...п; при каждом переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой: а) дискретно увеличивают радиус RK формируемой дуги из соотношения RK RK-I+ - , где к 1,2,... ; б) скачкообразно перемещают центр дуги на следующую ось в направлении развертки спирального элемента (по окружности 4 в направлении стрелки 5); осуществляют перекрытие апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой.
Формирование дуг спирального элемента 1 осуществляется в следующей последовательности.
Сфокусированный на фотопластине экспонирующий луч помещают на начальную границу радиусом R0 и перемещают по
D
круговой дуге радиусом Ri R0 + - в
секторе -XO-Y относительно центра дуги, расположенного на окружности 4 в точке а.
Дискретно увеличивают радиус дуги до значения R2 RI + - в момент пересечения экспонирующим лучом оси -Y, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку b по окружности 4 в направлении стрелки 5 и затем перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом R2 в пределах сектора -YO-t-Z.
Дискретно увеличивают радиус дуги до
значения R3 R2 + -
в момент пересечения экспонирующим лучом оси +Z, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку С по окружности 4 в направлении стрелки 5 и перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Рз в пределах сектора +ZO+X и т.д. до достижения экспонирующим лучом конечной границы - окружности 3 радиусом RKOH зоны формирования спирального элемента 1.
Сопряжение дуг спирального элемента
1 осуществляют при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой путем перекрытия апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента.
На фиг.2 изображен фотошаблон одного слоя печатной платы со спиральными элементами, изготовленный по предлагаемому способу с использованием кругового интерполятора, встроенного в устройство управления фотокоординатографом.
Формула изобретения Способ получения рисунка спиральных элементов на фотошаблонах печатных плат, основанный на задании на фотопластине
центра рисунка спирального элемента, определении радиусов границ R0 и RKOH, где R0 и RKOH соответственно начальный и конечный радиусы границ спирального элемента, причем RO RKOH,и перемещении экспонирующего луча по заданной траектории, о т- личающийся тем, что, с целью повышения точности формирования рисунка спиральных элем-ентов, разбивают зону формирования спирального элемента на
п секторов (п 3) осевыми линиями, проходящими через центр спирального элемента, определяют радиус расположения дуг
D спирального элемента из условия ,
где D - шаг витков спирального элемента, устанавливают экспонирующий луч в начальную точку спирального элемента, расположенную на пересечении границы радиуса R0 и первой оси, перемещают экстонирующий луч в каждом из секторов по круговой дуге, при этом центр дуги, формируемой между 1-й и. 1+1 и осью, располагают на И2-й оси по направтению развертки спирального элемента, где I 1,2,...п, при каждом переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой дискретно увеличивают радиус RK формируемой дуги по условию RK RK-I+ - , -где к 1,2а центр
дуги скачкообразно перемещают на следующую ось в направлении развертки спирального элемента, причем при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой осуществляют перекрытие апертур
конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента.
а) «Ч ji J С №,
jiU TJ )-
- ijjj} j -
-Л t Ув fS
г
&J
V.
, I i
л
xwo
Глазков И.М | |||
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии | |||
М : Советское радио, 1975, с | |||
Приспособление с иглой для прочистки кухонь типа "Примус" | 1923 |
|
SU40A1 |
Паровозный золотник (байпас) | 1921 |
|
SU153A1 |
Приспособление для точного наложения листов бумаги при снятии оттисков | 1922 |
|
SU6A1 |
Авторы
Даты
1991-08-30—Публикация
1989-04-28—Подача