Интерферометр радиального сдвига Советский патент 1991 года по МПК G01B9/02 

(Л

С

Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометри- ческим устройствам контроля волнового фронта лазерного излучения, в частности ИК-диапазона. Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра и повышение надежности за счет совмещения в одном узле функций нескольких элементов. Пучок лазерного излучения подается в оптическую систему, выполненную в виде линзы, переотражается от оптических поверхностей, на которые нанесены светоделитель- ные покрытия. Благодаря отличию кривизны поверхностей пары интерферирующих пучков обладают разной кривизной волнового фронта и некоторой плоскости нормальной оси, где интенсивности рабочего и опорного пучков наиболее близки. Конструкция предложенного интермерометра значительно проще и надежнее, позволяет контролировать мощные пучки. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, к интерферометрическим устройствам контроля волнового фронта лазерного излучения, в особенности ИК-диапазона.

Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра и повышение надежности за счет совмещения в одном узле функций нескольких элементов.

На чертеже изображена оптическая схема устройства.

Интерферометр радиального сдвига включает в себя объектив в виде линзы 1 с поверхностями 2 и 3, которые выполнены светоделительными, блок 4 регистрации ин- терферограмм, который установлен в плоскости 5, оптически сопряженной с плоскостью пучка 6.

Устройство работает следующим образом.

Пучок лазерного излучения, волновой фронт А которого измеряют, направляется в оптическую систему 1, переотражается на поверхностях 2 и 3 в результате чего оптическая система 1 формирует несколько интерферирующих пучков с различной расходимостью, например В и С.

Благодаря отличию кривизны граней 2 и

3оптическая сила такой оптической системы для каждого из сформированных ею интерферирующих пучков различна (т.е. fi1 4

4f 12) и определяется параметрами линзы через известные соотношения. Благодаря этому, в общем случае, размеры сечений любого из выбранной пары интерферирующих пучков в некоторой нормальной оси плоскости различны (отличаются относиОvj VI (Л О VI

тельным увеличением), т.е. имеет место интерференция радиального сдвига.

Анализ интерферограммы производится по количеству интерференционных колец и максимальная пространственная частота полос определяет стрелку прогиба рабочего и опорного волновых фронтов.

Преимуществами данного интерферометра является надежность работы за счет совмещения функций формирования и совмещения интерферирующих лучков в одном элементе и возможность исследования пучков высоких мощностей, так как отсутстА 6

2 13

вует фокусировка на поверхностях оптических элементов.

Формула изобретения Интерферометр радиального сдвига для контроля волнового фронта, состоящий из оптической системы и блока регистрации, отличающийся тем, Что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, оптическая системы выполнена в виде объектива, две оптические поверхности которого выполнены светоделительны- ми.