Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1991 года по МПК F04D19/04 

/

.

/

С

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить степень сжатия насоса. Рабочие каналы статора (С) 1 выполнены в виде участков 3 кольцевых пазов, последовательно соединенных между собой при помощи канавок 4, выполненных на внутренней поверхности С 1 параллельно его оси. 3 ил.

ФигЗ

/

4

О Ю

сл о о

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям средств получения вакуума молекулярного типа.

Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - развертка внутренней поверхности статора.

Молекулярный вакуумный насос содер- жит статор 1 с рабочими каналами на егб внутренней поверхности и установленный по оси статора 1 цилиндрический ротор 2, Рабочие каналы статора 1 выполнены в виде отдельных участков 3 кольцевых пазов, по- следовательно соединенных между cobci/ при помощи канавок А, выполненных- на внутренней поверхности статора 1 параллельно его оси.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема попадает а зазор между статором 1 и ротором 2, а также в канавки 4. При соударении молекул откачиваемого газа с поверхностью быстро- вращающегося ротора 2 они получают до- полиительный импульс в направлении

откачки, т.е. в сторону следующей канавки, сообщающей между собой два отдельных участка 3 кольцевых пазов одного и того же рабочего канала. Переходя от одного участка 3 к другому, молекулы перемещаются на сторону нагнетания насоса. Эффективность процесса откачки возрастает, так как вектор скорости поверхности ротора 2 направлен в сторону нагнетания вдоль участка 3 паза.

Образование между участками 3 кольцевых пазов перемычки препятствует обратным перетечкам газа между каналами, что ведет к повышению степени сжатия насоса.

Формула изобретения Молекулярный вакуумный насос, содержащий статор с рабочими каналами на его внутренней поверхности и установленный по оси статора цилиндрический ротор, о т личающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, рабочие каналы статора выполнены в виде отдельных участков кольцевых пазов, последовательно соединенных между собой при помощи канавок, выполненных на внутренней поверхности статора параллельно его оси.

фи&1

фиг. 2.