Способ обработки ферромагнитных металлов и сплавов Советский патент 1991 года по МПК C22F1/00 

Изобретение относится к области металлофизики, в частности к способу обработки ферромагнитных металлов и сплавов, преимущественно тонкослойных (толщиной менее м) материалов, и может найти применение в микроэлектронике, оптике, технике СВЧ.

Цель изобретения - изменение удельного электросопротивления, создание его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами.

Способ опробован на никелевых (чистотой 99,98%) поликристаллических образцах (полоски фольги 30x2,0x0,005 мм) при воздействии постоянного или импульсного периодического тока (до Гц) 0,05-20 А. Охлаждение в процессе действия тока осуществляют проточной водой. Зависимость электрического сопротивления материала образца от величины плотности тока в нем

определяется на основе вольт-амперных характеристик (ВАХ). Изменение удельного электросопротивления материала возникает при токах более 107 А/м2. Сопротивление образцов изменяется практически линейно на 20-50% и достигает насыщения при токе (5-8) «10 А/м2, далее оно практически не изменяется вплоть до разрушения. С уменьшением длины образцов плотность тока при обработке повышается.

Анизотропию электросопротивления, возникающую под действием электрического тока, оценивают методом ферромагнитного резонанса (ФМР) по ее влиянию на частоту ФМР в тонких пленках пермаллоя (20Fe80NI). Наличие анизотропии электросопротивления приводит к сдвигу резонансной частоты, величина которой зависит как от значения электрической анизотропии, так и от угла поворота пленки в ее плоскоО

ю

00

со

сти, образуемого вектором плотности тока в образце и направлением подмагничиваю- щего поля. Согласно измерениям, величина анизотропии электросопротивления практически линейно зависит от плотности тока в образце и ее максимальное значение составляет 20-50%. После выключения тока или уменьшения его плотности менее 107 А/м парамтеры образца возвращаются к исходным. Повторение процесса снова приводит к изменению электросопротивления. По сравнению с известным предлагаемый способ обеспечивает изменение элект- росопротивления непосредственно в процессе обработки на 20-50%, позволяет создать его анизотропию, а также дает возможность управлять этими параметрами.

Формула изобретения

Способ обработки ферромагнитных металлов и сплавов, преимущественно тонкослойных (толщиной менее м), включающий пропускание электрического тока, отличающийся тем, что, с целью изменения удельного электросопротивления, создания его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами, электрический ток пропускают плотностью 107-1011 А/м2, причем в процессе пропускания тока осуществляют принудительное охлаждение материала так, чтобы его

температура не превышала 0,4 Т Пл, где Т щ/ - температура плавления материала, К.

Изобретение относится к металлофизике, в частности к способу обработки ферро- магнитных металлов и сплазов, преимущественно тонкослойных (толщиной менее м) материалов, и может найти применение в микроэлектронике, оптике и технике СВЧ. Цель изобретения - изменение удельного электросопротивления, создание его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами. Способ включает пропускание электрического тока плотностью 107-1011 А/м2, причем в процессе пропускания тока образец принудительно охлаждают таким образом, чтобы его температура не превышала 0,4 Тпл, где Тпл - температура плавления материала, К. Способ обеспечивает изменение электросопротивления непосредственно в процессе обработки на 20-50%, позволяет создать его анизотропию, а также управлять этими параметрами. сл