Способ металлизации кварцевого маятникового чувствительного элемента компенсационного акселерометра Советский патент 1991 года по МПК G01P15/00 

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении электромеханических измерительных преобразователей, в частности компенсационных акселерометров.

Целью изобретения является повышение точности и стабильности механических характеристик акселерометра.

На чертеже показан вариант крепления рамки-маятника 1 на двух торсионах 2 и 3 к неподвижному основанию 4.

Сначала рамку-маятник 1 отклоняют от вертикального положения на угол акс , определяемый из соотношения

2 32 (7Т I h )

где 0v - предел текучести материала пленки;

I, d - длина и диаметр струнного торси- она;

h - толщина пленки;

G (d) - модуль сдвига кварцевого стекла при заданном диаметре струнного торсио- на.

В этом отклоненном положении на один из торсионов равномерно со всех сторон наносят тонкую пленку 5 заданной толщины. Затем возвращают рамку в исходное положение. В результате нанесения пленка, в начальный момент не имеющая касательных напряжений, становится предварительно напряженной внутренними силами из-за освобождения упругих кварцевых элементов от действия внешней силы. Затем подвес закручивают в противоположною

О

о J о

сторону на тот же угол ip и наносят пленку 5 на другой торсион. В результате этих двух операций пленку 5 наносят и на рамку-маятник 1, имеющую стяжку 6 по осям торсио- нов. Затем рамку-маятник 1 возвращают в исходное вертикальное положение. В результате этих операций на упругом торсионном подвесе в струнных торсионах возникают касательные напряжения равной величины, но противоположные по знаку, что позволяет уменьшить величину гистерезиса упругой характеристики торсионного подвеса и повысить стабильность нулевого сигнала, что в конечном итоге приводит к повышению точности измерений. Формула изобретения 1, Способ металлизации кварцевого маятникового чувствительного элемента компенсационного акселерометра, заключающийся в нанесении тонкой пленки на поверхность рамки-маятника и торсионного подвеса, состоящего из двух торсионов, прикрепленных к основанию и с двух сторон к рамке-маятнику, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и стабильности механических характеристик акселерометра, предварительно закручивают торсионный подвес путем отклонения рамки на заданный угол от вертикального положения

и наносят пленку на один торсион, затем

закручивают подвес в противоположную от

вертикального положения сторону на тот же

угол и наносят пленку на другой торсион.

2, Способ по п.1,отличающийся

тем, что у гол 1/ закрутки торсионного подвеса не превышает максимально возможного значения , определяемого из соотношения

15

,/, -2,32-gr-l г.

MaKC d2-G-(d)

где 7г предел текучести материала пленки;

I, d - длина и диаметр струнного торси- она;

h - толщина пленки;

G (d) - модуль сдвига кварцевого стекла при заданном диаметре струнного торсио- на.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении электромеханических измерительных преобразователей, в частности акселерометров. Целью изобретения является повышение точности и стабильности механических характеристик акселерометра. Указанная цель достигается тем чю предварительно отклоняют рамку-маятник 1 от вертикального положения на угол, определяемый из соотношения механических параметров маятника и подвеса, и наносят пленку на первый торсион Затем отклоняют рамку-маятник 1 в противоположную сторону на тот же угол и наносят пленку на второй торсион. В результате предлагаемого способа существенно повышается стабильность нулевого сигнала акселерометра, что приводит к повышению точности измерений. сл