Раствор для фотоактивации поверхности диэлектриков перед их химической металлизацией Советский патент 1991 года по МПК C23C18/30 

са осаждения покрытий е растворах химического меднения.

После обработки а предлагаемом растворе величина прочности сцеппиния осел-денного медного ПОКРУТИ с диэлектриков составляат 8 сркдкб - (1 i j c/cci), обеспечиваемое известным раствором.

Предлагаемый раствор от гя-етсй большой стабильностью. Так а оптимальной (рН 8-9,5) среле его срок хранения практически неограничен, STD времг г.ак а известном ргст&оие по ш. 1 -2, еут образуется осадоч.

Мин:11. йльнсг u.i,iut,, i. ipaiU1 - - -У Ф;1. - ± цермп ( П), в пересчгл ъ па РЛГ-Т..ЛЛ, .л/; в о. 0,6 i /л. Ниже этой .онценфэ ц ли ив обеспечивается сплошность р хун хз. Достижение верхнего предела концентрации соли (Ill) лимитируется ее-оаст оримои ькз,

Минимальной конце.грацией соли меди (в пересчете на металл), еще обеспечивающей сплошность рясупча, является 1,3 г/л, Верхним пределом концентрации соли меди (в пзоесчетд на неталм спеду т считать 5,4 г/л. При еще больших концентрациях после облучения образуется рыхлая пленка меди иж ее сксидо-:,, которая при последующая. -иЛ мзскои f-эдне- нии частично отрывается от диэлектрика.

Концентрация лиггг- да-тартрэт, з рас- творэ зависит от использования концентрации соли медм. Оотчмальным соотношением тартрага калия-натрия модм fe перо- счете на к етал/:) ячлпется 20: i (no eecv). Гфи лзньшем соотношенп1, масчь iiot oa меди осаждаемся а вм,ое черяст ору.мого комплекса с тартрэтом, У при болыием - уменьшается зктивиру-ощзя способность раствора.

Таким образом, оптимапьныи следует считать ргсгвор, со/:ерх ащий, г/л: сульфат г ,едм 10-20, тартрат 50-100, сульфат церих 6-10, и рН 8-9,5.

Для npi/готорления 1 л оастворз в 800- 900 мл по ;педователы.о растворяют рзс- четноз колр- кстоо тартрат а кзлия-натрг й, сульфатов цермя и рчеди. Затем добавлинм- зм раствора гчдроксида калия или натрия до необходимого значения м разбавлягот родой до 1 л.

Стабильность раствора фотосенсио и- лиззцми определяют визуально (псг.вл 0- к-яе осадка). Обрагць из .три.;а покрытого адгезиош ым слоем, содержащим каучук, травят а хромовой смеси, промывают, обрабатывают смесью растворителей, промывают и погружают ,;, 3-5 ммн в рзстпоры фстогенсмбгшиза.(.

После обработки в ргстзоре фотосенси- Оизации образцы высушсшагот ка 30o,qvxa

прикроплйют к ним негативный шаблон и в течение 5-10 мин облучают ультрафиолетовым светом.

Затем снимают фотошаблоны и образцы погружают в раствор химического меднении следующего состава, г/л: CuSCM 5Н2015

ЭДТА30

Формален20

(СМ),001

Дизтмлдитиокарбамат 0,001 Дальнейшее каращикание медного по- , { Mil npoeo&f г гальванически в стандзр- ,.;г,.. ki/tc/iobi электролите меднения. Прочность сцепления медного покрытия с диьлектрмком определяют методом отслаивания полосы шириной в 1 см от контрольного образца, облученного УФ без фотошаблона. Данные приведены в таблице.

Как видно мз данных таблицы, прочность сцепления медного покрытия с диэлект- , обработанным в предлагаемом Р-,С ьорй фото енсмбизацим, увеличивается и (,5-2 раза по сравнению о известным растьором. Предлагаемый раствор фото- сг.мспбчлизацим остается стабильным прак.- Т л;ес .л неограниченное время.

Раствор является простым по составу м удобным при эксплуатации. Все компоненты раствора фотосенсибилизации е являются дефицитными и выпускаются химической промышленностью в достаточных кодачествах.

Применение предлагаемого раствора

прч изготовленкм печатных плат увелмчм- ззет нздежног.ть последних при эксплуатации.

Формула изобретения

Раствор для фотоактивации поверхности диэлектриков перед их химической металлизацией, содержащий соль меди, лмгапд, светочувствительное вещество и воду, о т л и ающийся тем, что. с целью повышения стабильности раствора и прочности сцепления металлического покрытий с диэлектриком, ск в качестве светочувствительного вещества содержит водорастворимое соединение церия (111), a в качестве лиганда - тартрат калия-натрия при следующем соотношении компонентов, г:

Соль f/геди (П) з пересчете

на медь1,3-6,4

Тартрат калия-натрия ,25-125

Водорастворимое соединение церия (ill) t пересчете на церий0,б-2;Э

ЗодаДо 1 л