Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью Советский патент 1991 года по МПК G01M11/00 G01B11/26 

-И

У...сРЛ

3N

Я

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью, Цель изобретения - повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета. Изображение от точечных диафрагм 3 и 13 проецируется объективами 6 и 7 на поверхности юстируемого предмета 17, установленного на трех пьезокерамических столбиках 18-20. Изображение точечных диафрагм вторично переносится объективами 6 и 7 на фотоприемники 9 и 10. При равенстве сигналов с фотоприемников 9 и 10 предмет 17 съюстирован по высоте. Для угловой юстировки предмета, в передней фокальной плоскости объектива 6 установлена круглая диафрагма 5, изображение которой создается на квадрантном фотоприемнике 15, установленном в задней фокальной плоскости объектива 7. 2 з.п ф- лы, 3 ил. (Л С

10

&

к

vi

О

ю

ho

j

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью.

Известно устройство для юстировки предмета.

Недостатки такого устройства - низкая томность и невозможность угловой юстировки предмета.

Целью изобретения является повышение точности юстировки и расширение фун- кциональных возможностей пугем юстировки углового положения предмета.

На фиг.1 показана функциональная схема устройства; на фиг.2 - взаимное расположение пьезокерамических столбиков; на фиг.З - схема соединения фотоприемников,

Устройство для юстировки содержит оптически связанные первый источник 1 излучения, первый конденсор 2, первую точечную диафрагму 3, первый светоделитель 4, круглую диафрагму 5, первый и второй проекционные объективы 6 и 7, второй светоделитель 8, первый фотоприемник 9. С первым светоделителем 4 оптически связан второй фото прием ни к 10, с вторым светоделителем 8 оптически связаны второй излучатель 11, второй конденсор 12 и вторая точечная диафрагма 13. Между вторым проекционным объективом 7 и вторым светоделителем 8 через третий светоделитель 14 введен квадрантный фотоприемник 15. Четвертый светоделитель 16 установлен для компенсации хода лучей в устройстве. Юстируемый предмет 17 расположен на трех пьезокерамических столбиках 18, 9 и 20 Зеркала 21-24 введены для уменьшения га- 1 баритов устройства.

Устройство работает следукж1им образом.

Первый (фиг 1) источник 1 излучания через первый конденсор 2 освещает первую точечную диафрагму 3. Первый проекционный объектив 6 создает изображение первой точечной диафрагмы 3 на юстируемом предмете 17. Второй проекционный объектив 7 создает изображение диафрагмы 3 через второй светоделитель 8 на первом фотоприемнике 9. Аналогично излучение от второго источника 11 излучения через конденсор 12 освещает вторую точечную диафрагму 13, затем второй проекционный объектив 7 создает ее изображение на юстируемом предмете 17, а первый проекционный объектив 6 через первый светоделитель 4 на втором фотоприемнике 10.

Первый и второй фотоприемники 9 и 10 соединены между собой по дифференциальной схеме (фиг.З), Если сигналы с фотопри- емнйков 9 и 10 различны, что соответствует неточной юстировке предмета 17, при помощи трех пьезокерамических столбиков 18,

19 и 20 (фиг,2) перемещают юстируемый предмет 17 до тех пор, пока сигналы с фотоприемников 9 и 10 не сравняются. Этот случай соответствует продольной юстировке предмета 17.

0 Для установки предмета 17 перпендикулярно линии, проходящей через биссектрису угла, образованного оптическими осями проекционных объективов 6 и 7, в передней фокальной плоскости первого проекцион5 ного объектива 6 установлена круглая диафрагма 5. Ее изображение после отражения излучения от предмета 17 фокусируется вторым проекционным объективом 7 через тре- тий светоделитель на квадрантный

0 фотоприемник 15. Угловое отклонение предмета соответствует перемещению изображения диафрагмы 5 по фотоприемнику 15, Наклон предмета 17 также устраняют путем его перемещения при помощи пьезо5 керамических столбиков 18, 19 и 20 до тех пор, пока изображение круглой диафрагмы 5 не окажется в центре квадрантного фотоприемника ч 5. Поворот предмета 17 осуществляют относительно двух взаимно

0 перпендикулярных осей 25 и 26,

Формула изобретения

1,Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью, содержащее оп5 тически связанные первый источник излучения, первый конденсор, первую точечную диафрагму, первый проекционный объектив, второй проекционный объектив, первый приемник излучения, а также блок

0 перемещения предмета, отличающее- с я тем, что, с целью повышения точности юстировки, в устройство дополнительно введены оптически связанные второй источник излучения, второй конденсор, вторая

5 точечная диафрагма, а также второй фотоприемник, первый и второй светоделители, причем вторая точечная диафрагма оптически связана с вторым объективом через первый светоделитель, второй фотоприемник

0 оптически связан с первым объективом через второй светоделитель, а блок перемещения предмета выполнен в виде трех пьезокерамических столбиков.

2,Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- 5 с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета, в него дополнительно введены круглая диафрагма, установленная в переднем фокусе первого объектива, третий светоделитель и квадрантный фотоприемник, установленный в задней фокальной плоскости второго объектива и оптически связанный с ним третьим светоделителем.

20

Фиг.г

Фи.Э

S