Способ получения рельефного негативного или позитивного изображения Советский патент 1992 года по МПК G03C1/675 

Изобретение относится к материалам для создания рельефных изображений и может быть использовано в радиоэлектронике для изготовления печатных плат и интегральных микросхем и в полиграфии для изготовления печатных форм.

Целью изобретения является увеличение светочувствительности.

Изобретение иллюстрируется примерами.

Примеры 1-5. Для получения рельефного изображения поиготавливают композицию путем растворения в ацетоне компонентов, указанных в тзбл.1. Композицию наносят Методом полива на фольгиро- ванный медной фольгой текстолит или алюминиевую офсетную печатную форму и сушат в темноте при комнатной температуре в течение 10 мин. Толщина слоя 5-7 мкм. Далее на поверхность светочувствительного слоя наносят защитный слой поливинилового спирта методом налива из 5%-ного водного раствора. Защитный слой сушат при комнатной температуре в течение -40 мин. Приготовленный светочувствительный материал экспонируют полным светом ртутной лампы высокого давления ДРШ мощностью 275 Вт на расстоянии 15 см (6 дюймов)

О СП Ч Ю ,СЛ

1

j

в течение 3,0-24,0 с (экспозиция 1,510 - 1.2- Дж/см) для получения негативного изображения и 30-60 с (экспозиция 1,,0 Дж/см) для получения позитивного изображения.

Далее с поверхности светочувствительного материала удаляют защитный слой поливинилового спирта путем обработки в воде. Проявление рельефного изображения осуществляют в ацетоне или водном рас творе этилового спирта (обьемное соотношение этанол:вода : (5-8):3. Время проявления негативного изображения составляет 5,0-7,0 мин, позитивного - 1,5-2,0 мин. Светочувствительность определяют, как пороговую экспозицию, необходимую для получения рельефного изображения. Разрешающую способность определяют путем экспонирования линейной миры с разным числом линий на мм.

В табл.1 приведены составы композиций для полива светочувствительных слоев по предложенному техническому решению и прототипу. Табл.2 иллюстрирует получе- 10

15

20

ПримерВ (прототип сравнит.). Как указано в примере G, приготавливают композицию состава, приведенного в тлбл.1. Композицию наносят на бумагу, покрытую слоем желатины, сысушиеают и экрпони- руют люминесцентным осветителем мощ-. ностью 30 Вт с максимумом излучения в области 253,6 нм. Экспозиция 5 с. После экспозиции удаляют фотошаблон и весь слой освещают в течение 5 с светом лампы высокого давления ДРШ мощностью 275 Вт. Рельефное изображение проявляют в бензоле в течение 30 с. Образуется позитивное рельефное изображение.

Граничные содержания индола определяются необходимостью достижения поставленной цели. При концентрации менее 0,62 мас.% проявляются только негативные свойства независимо от экспозиции.

При концентрации индола более 0,81 мас.% проявляются только позитивные свойства также независимо от экспозиции.

При снижении содержания дифенилние негативного или позитивного изобра- 25 бензиламинз и гексабромдиметилсульфона

10

15

20

ПримерВ (прототип сравнит.). Как указано в примере G, приготавливают композицию состава, приведенного в тлбл.1. Композицию наносят на бумагу, покрытую слоем желатины, сысушиеают и экрпони- руют люминесцентным осветителем мощ-. ностью 30 Вт с максимумом излучения в области 253,6 нм. Экспозиция 5 с. После экспозиции удаляют фотошаблон и весь слой освещают в течение 5 с светом лампы высокого давления ДРШ мощностью 275 Вт. Рельефное изображение проявляют в бензоле в течение 30 с. Образуется позитивное рельефное изображение.

Граничные содержания индола определяются необходимостью достижения поставленной цели. При концентрации менее 0,62 мас.% проявляются только негативные свойства независимо от экспозиции.

При концентрации индола более 0,81 мас.% проявляются только позитивные свойства также независимо от экспозиции.

При снижении содержания дифенил

Изобретение касается фотографических процессов, в частности получения рельефного негативного или позитивного изображения, что может быть использовано в радиоэлектронике при изготовлении печатных плат и интегральных печатных микросхем, в полиграфии для изготовления печатных плат. Цель - увеличение светочувствительности. Для этого на подложку наносят светочувствительную композицию, содержащую, мас.%: дифенилбензиламин 2,02-3,2, индол 0.62-0,81, гексабромдиме- тилсульфон 4,14-6,07, поливинилэтилаль 9,31-10,11 и ацетон - до 100. После сушки слоя ведут экспонирование полным светом ртутной лампы высокого давления с экспозицией 1,5 ,2 -10 1 Дж/см2 для получения негативного изображения и

жения в зависимости от экспозиции для образцов разного состава. Табл.3 обосновывает время проявления рельефного изображения. Табл.4 обосновывает состав растворителя для проявления рельефного изображения. В табл.5 приведены фотографические характеристики рельефных изображений по предложенному способу и прототипу. Эта таблица доказывает достиснижается светочувствительность слоя. Максимальные концентрации этих компонентов соответствуют пределу растворимости в полимерном связующем. Содержание 30 поливинилэтилаля выбрано из необходимости растворить другие компоненты композиции. Содержание ацетона определяет рабочую вязкость композиции, необходимую для нанесения на подложку методом

жение положительного эффекта - увеличе- 35 полива. Защитный слой поливинилового

ния светочувствительности.

П р и м е р 6 (прототип). Путем растворения в 99 мл бензола компонентов, указанных в табл.1, готовят светочувствительную композицию и наносят на стеклянную пла- стинку слоем толщиной 1-2 мкм. Светочувствительный слой высушивают в течение 10-15 мин и экспонируют полным светом лампы высокого давления ДРШ мощностью 275 Вт на расстоянии 25 см (6 дюймов). Время экспозиции 9 с (5-10 2 Дж/см ). Непосредственно после экспонирования всю поверхность прогревают инфракрасной лампой мощностью 175 Вт в течение 60 с. Далее изображение проявляют в бензоле в течение 30 с. Образуется негативное рельефное изображение.

Пример (прототип сравнит.). Как указано в примере 6, приготавливают композицию состава, приведенного в табл.1, и проводят операции по получению изображения. При этом время экспонирования составляет 20 с (1. Дж/см2). Образуется негативное рельефное изображение.

снижается светочувствительность слоя. Максимальные концентрации этих компонентов соответствуют пределу растворимости в полимерном связующем. Содержание поливинилэтилаля выбрано из необходимости растворить другие компоненты композиции. Содержание ацетона определяет рабочую вязкость композиции, необходимую для нанесения на подложку методом

спирта улучшает сохранность светочувствительного слоя и повышает светочувствительность.

Для негативного изображения время отмывки составляет 5,0-7,0 мин. При уменьшении времени отмыоки не удаляются неэкспонированные участки изображения, при увеличении времени отмывки частично удаляются экспонированные участки изображения. В случае позитивного иображе- ния время отмывки составляет 1,5-2,0 мин. При уменьшении времени отмывки не удаляются экспонированные участки изображения, при увеличении времени отмывки частично удаляются экспонированные участки изображения.

При снижении экспозиции менее 1,510 Дж/см рельефное изображение не образуется а з интервале 1, 1,5-10 Дж/см вследствие флуктуации толщины слоя и локальной концентрации компонентов может происходить неконтролируемое образование либо негативного, либо позитивного изображения. Повыше1О

ние экспозиции более 3,0-10 Дж/см нецелесообразно, так как приводит не к улучшению свойств позитивного рельефного изображения, а к снижению светочувствительности.

Формула изобретения Способ получения рельефного негативного или позитивного изображения путем нанесения на подложку светочувствитель- ной композиции, включающей ароматический амин, индол, галогенсодержащее соединение, полимерное связующее и органический растворитель, ее сушки, экспонирования полным светом ртутной лампы высокого давления и проявления растворителем, отличающийся тем, что, с целью увеличения светочувствительности, используют композицию, содержащую в качестве ароматического амина дифенилбензила-

Составы светочувствительных композиций

мин, в качестве галогенсодержащего соединения - гексабромдиметилсульфон, в качестве полимерного связующего - пол- ивинилэтилаль и в качестве органического растворителя -ацетон при следующем соот0/

ношении компонентов, мае. уь:

Дифенилбензилами

Индол

Гексабромдиметилсульфон

Поливинилэтилаль

Ацетон

экспонирование осуществляют с экспоДж/см2 для

зицией 1,,2-10

-1

получения негативного (1.5-3,0) Дж/см2 для

изображения и получения позитивного изображения, а для проявления используют ацетон или смесь этанол-вода в соотношении 5-8:3.

Таблица 1

Вид рельефного изображения в зависимости от экспозиции

Таблица 3 Влияние времени проявления в ацетоне на качество рельефного изображения

Таблица 2

91705795 10

Таблица 4 Влияние времени отмывки и состава растворителя на качество рельефного изображения

Таблица 5 Фотографические характеристики предложенного способа и прототипа