СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИГОЛЬЧАТЫХ АВТОЭЛЕКТРОННЫХЭМИТТЕРОВ Советский патент 1965 года по МПК H01J1/304 H01J9/02 

Известны способы получения игольчатых автоэмиттеров электролитическим травлением, в капле электролита. Радиусы острий, полученных по этому способу, лежат в широком интервале значений, так как при малом количестве электролита в капле ее размер влияет на форму острия.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что для уменьшения радиуса острий и повышения воспроизводимости их геометрических размеров травление осуществляется в трехслойной ванне, схема которой представлена на чертеже.

Проволока / (или «гребешок проволок), из которой изготовляется острие, погружается в ванну , чтобы конец ее опустился в ртуть 2, служагцую жидким контактом. Над ртутью находится двухмиллиметровый слой 3 четыреххлористого углерода, поверх которого находится тонкий слой 4 электролита. Вторым электродом служит платиновая проволока, введенная в электролит.

Травление острнй осуш,ествляется переменным током промышленной частоты напряжением 10-15 в. Электролитом служит однонормальный раствор NaOH.

ключателя на схеме травления), не являются строго полусферическими. Для получения гладкой полусферической поверхности острия на дужку-держатель 5 подается кратковременный (около 1 сек) импульс напряжения (// положение переключателя). Происходит дотравливание при том же режиме, чем достигается сглаживание поверхности и дополнительное уменьшение радиуса.

Предмет изобретения

Способ изготовления игольчатых автоэлектронных эмиттеров путем электролитического

травления проволочной заготовки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения радиуса острий и новышення воспроизводимости их геометрических размеров, в электролитическую ванну номеш.ают слой ртути, поверх которой размещают слой неэлектронроводной жидкости, например четыреххлористого углерода, поверх этого слоя наливают слой электролита, например едкого иатра, а подлежащую травлению проволоку погружают в ванну в вертнкальном положении так, что верхний конец ее проходит через слой электролита, а ннжний конец опускается в ртуть, после чего производят электролитическое травление, используя ртуть в качестве одного из