УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1995 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к устройствам для обработки изделий в вакууме и может быть использовано в производстве изделий электронной техники и других отраслях народного хозяйства.

Целью изобретения является повышение производительности и расширение технологических возможностей.

Цель достигается за счет возможности выполнения технологических операций во всех камерах одновременно.

На фиг. 1 схематично изображено устройство, общий вид; на фиг.2 винт, продольный разрез; на фиг.3 вид А на фиг.2.

Устройство содержит шлюзовые 1, 2 и рабочую 3 камеры, вакуумные затворы 4-7, тележки 8 с роликами 9, установленными с возможностью зацепления с винтами 10-12, при этом винты имеют на торце 13 осевой срез 14, выполненный под углом 15 к оси 16, проходящей через точку 17 среза.

Привод вращения винтов 10-12 имеет электродвигатель 18, редуктор 19, электромагнитную муфту 20 и две шестерни 21 и 22.

Устройство работает следующим образом.

Давление в шлюзовой камере 2 повышается до атмосферного, открывается вакуумный затвор 7, включается привод вращения винта 12, и тележка 8 с изделием выгружается из устройства.

Далее вакуумный затвор 7 закрывается и давление в шлюзовой камере 2 понижается до уровня, при котором возможно шлюзование.

Затем открывается вакуумный затвор 6, включается привод вращения винта 11, и тележка 8 с изделием перемещается из рабочей камеры 3 в шлюзовую камеру 2. При этом ролик 9 вступает в контакт с винтом 12 по линии среза 14, а так как линия среза 14 находится под углом 15 к оси ролика 9, то он поворачивает винт 12 и входит с ним в зацепление по винтовой линии. Так как угол подъема винтовой линии больше угла самоторможения, то винт 12 вращается под действием ролика 9 до выключения привода винта 11. Затем включается привод вращения винта 12 и перемещение тележки 8 с изделием в шлюзовую камеру 2 заканчивается и вакуумный затвор 6 закрывается.

Перемещение тележки 8 с изделием из шлюзовой камеры 1 в рабочую камеру 2 осуществляется аналогично выше описанному.

После загрузки шлюзовой камеры 1 цикл работы устройства повторяется.

Угол наклона среза 15, угол подъема винтовой линии, размеры шестерен 21 и 22 определяются силовым расчетом механизма.

Свободное вращение винтов 10-12 при выключенном электродвигателе 18 обеспечивается муфтой 20, имеющей электромагнитный привод.

Наличие в камерах 1-3 жестко не связанных между собой винтов 10-12 позволяет проводить в них различные технологические процессы. Например, в шлюзовой камере 1 нагрев изделий, в рабочей камере 2 напыление, для чего тележка 8 с изделием может совершать возвратно-поступательные перемещения, а в шлюзовой камере 2 охлаждение изделий.

В устройстве при перемещении тележки из камеры в камеру контакт ролика, установленного на тележке, с винтом, установленным во второй по направлению движения камере, осуществляется по линии среза, которая не совпадает с осью ролика, поэтом ролик поворачивает винт и входит в зацепление по винтовой линии, а так как угол подъема ее больше угла самоторможения, то винт вращается под действием ролика до выключения привода вращения винта, расположенного в первой по направлению движения камере. Затем включается привод вращения винта во второй камере и перемещение тележки из первой камеры во вторую заканчивается.

Это позволяет повысить производительность устройства и расширить технологические возможности, увеличивая количество камер.

Использование: обработка изделий в вакууме в производстве изделий электронной техники и других отраслях народного хозяйства. Сущность изобретения: устройство содержит шлюзовые и рабочие камеры, вакуумные затворы, расположенные между ними, и тележку с роликами, установленными с возможностью зацепления с винтами, расположенными в шлюзовых и рабочих камерах. Выполнение на торцах винтов осевого среза винтовой линии, выполненного под углом к диаметру сечения, проходящего через точку среза, а также выполнение при этом угла подъема винтовой линии больше угла самоторможения позволяет вести одновременно обработку изделий во всех камерах. 3 ил.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее шлюзовые и рабочие камеры, вакуумные затворы и тележки с приводом в виде винтов и роликов, причем ролики расположены на тележках с возможностью зацепления с винтами, которые расположены в шлюзовых и рабочих камерах, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и расширения технологических возможностей, на торцах винтов выполнен осевой срез винтовой линии под углом к диаметру сечения, проходящего через точку среза, при этом угол подъема винтовой линии больше угла самоторможения винта, а каждый винт снабжен муфтой с дистанционным управлением.