Емкостной датчик давления Советский патент 1992 года по МПК G01L9/12 

Фи2.2

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для измерения давления с повышенной точностью в широком диапазоне температур и возможности одновремен- ного измерения температуры, Поставленная цель достигается тем, что в емкостном датчике давления, содержащем корпус 1, мембрану 2 с жестким центром 3, опорным основанием 4, диск 5, закрепленный с зазором относительно мембраны, преобразователь деформаций в виде двух пар противолежащих электродов с контактными площадками, первая 7 из которых расположена по центру мембраны и диска, а вторая 8 - на опорном основании и периферии диска. Симметрично контактным площадкам размещены электрически соединенные с электродами дополнительные контактные площадки, а электроды выполнены из резистивного материала, характеристики которого удовлетворяют представленному соотношению. Зная сопротивления электродов первой и второй пар, можно определить и разность температур этих электродов, т.е. можно вводить термодинамическую поправку, учитывающую нестационарность температуры измеряемой среды. 2 ил, (Л С