СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВвсгсц»Я11>&|1 .fFM^m^^Т*фБ:';Щ1?а(А„. Советский патент 1965 года по МПК H01L21/40 

Известны способы изготовл«н:ия омических контактов путем вплавления в полупроводник металлического, в частности золотого, вывода с добавками доноров или акцепторов или покрытого слоем металла-примвси с предварительным его оплавлением.

Предлагаемый способ изготовления омического контакта « полупроводниковым приборам отличается тем, что металлический вывод, в част1юст1И из зо.лота. предварительно покрывают слоем висмута в кол.ичестве, не превышающем IO/Q от веса вывода, или слоем сплава золота с висмутом с содержанием висмута не иже€0о/о.

Предлагаемый способ позволяет за счет улучшения смачивания поверхности кремвия повысить надежность и механическую прочность омического контакта, а также осуществить контакт к кремнию п- и р-типа проводимости.

Опособ осуществляется следующим образом.

На вывод из золотой заготовки, напр.имер, в виде проволоки ианосят любым известным способом слой висмута или сплава висмута с золотом. Количество висмута должно быть не более 1 % от веса золотого вывода, а в спл:аве золота с висмутом содержание висмута долж«о быть не ниже 20«/о. Вывод с нанесенным металлом предварительно опла1вляют при температуре, превыщающей температуру эзтактики золото - висмут, а длительность оплавления выбирают таким образом, чтобы оно произошло только в поверхностном слое. После этого проводят вплавление вывода при температуре 450°С в поверхность кремния, обработан:ную соответствующим образом.

Предмет изобретения

Способ изготовления омических контактов путем вплавления в полупроводник металлического вывода, легированного соответствующей примесью или покрытого Слоем металла с предварительным его оплавлением, отличающийся тем, что, с целью повышения механической прочности контакта и осуществления

ело на крем-нии любого типа проводимости, на вывод предварительно наносят 1висмут в количест(ве не более 1 % от веса вывода.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на вывод предварительно наносят слой из

сплава золота с висмутом с содержанием висмута не -ниже 20о/о.