Способ изготовления пьезорезистора Советский патент 1992 года по МПК G01B7/18 

Изобретение относится к технике измерений неэлектрических величин электрическими методами.

Преимущественная область применения - техника измерений, контроля, управления, сигнализации и регулирования неэлектрических величин, функционально зависящих от давления или деформации,

Известен способ изготовления пьезоре- зисторов, заключающийся в том, что чувствительный элемент с металлическими обкладками, выводными проводами и оболочкой упруго изолируют от опорных плоскостей двумя резиновыми накладками.

Упругие накладки у прототипа, предназначенные для замедления релаксации напряжений в чувствительном элементе при измерении деформации, позволяют также улучшить равномерность нэгружения чувствительного элемента, однако не обеспечивают полной равномерности Это обусловлено тем, что упругие накладки в

прототипе выполнены из эластичного изоляционного (неметаллического) материала, например листовой резины. Через такие накладки неравномерность нагружения частично передается чувствительному элементу из-за относительно большой жесткости материала упругих накладок вследствие плотного расположения и малоподвижного состояния молекул в таком материале.

Целью изобретения является повышение качества пьезорезистора за счет улучшения равномерности нагружения при измерениях.

Цель достигается тем, что по способу изготовления пьезорезистора изоляцию осуществляют путем намотки с зазором на оболочку слоев синтетической пленки, края которой сваривают.

По предложенному способу изготовления пьезорезистора между слоями синтетической пленки на опорных плоскостях

С/

С

х|

сл

(л ГО СЛ СЛ

пьезорезистора образуют герметичные щелевые воздушные полости (подушечки). При нэгружении такого пьезорезистора неравномерно распределенной нагрузкой в герметичных полостях создается определенное напряженное состояние воздуха. Из-за подвижности молекул воздушной упругой среды напряженное состояние в полостях передается чувствительному элементу уже в равномерно распределенном виде. Это означает, что объем воздуха в герметичных щелевых полостях, воспринимая неравномерно распределенную нагрузку, трансформирует ее в равномерно распределенную нагрузку на чувствитеьлный элемент, тем

0

5

самым повышая качество измерений. При этом возможно совмещение оболочки со слоями синтетической пленки.

Формула изобретения Способ изготовления пьезорезистора, заключающийся в том, что чувствительный элемент с металлическими обкладками, выводными проводами и оболочкой упруго изолируют от опорных плоскостей, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пьезорезистора за счет улучшения равномерности нагружения при измерениях, изоляцию осуществляют путем намотки с зазором на оболочку слоев синтетический пленки, края которой сваривают.

Изобретение относится к технике измерений неэлектрических величин электрическими методами, Цель изобретения - повышение качества пьезорезисторэ за счет улучшения равномерности нагружения при измерениях. Способ изготовления пье- зорезистора заключается в том, что чувстви- тельный элемент с металлическими обкладками, выводными проводами и оболочкой упругого изолируют от опорных плоскостей, при этом изоляцию осуществляют путем намотки с зазором на оболочку слоев синтетической пленки, края которой сваривают.