СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА Советский патент 1966 года по МПК H05K3/12 

Известен фотомеханический способ изготовления трафаретов на прозрачных основах путем металлизации поверхности подложки слоем хрома, копирования изображения, проявления его в соответствующих условиях и травления.

Предлагаемый способ состоит в том, что металлизацию стеклянной подложки производят слоем карбида хрома, получаемым методом термического разложения бис-этилбензохрома ири разрежении lO-i мм рт. ст. при температуре обрабатываемой подложки 500- 550°С.

Подложку пол еи1ают li пары кипишего хроморганического соединения при разрежении мм рт. ст. на 40-60 сек R зависимости

от требуемой толщины наращиваемого покрытия. Это обеспечивает длительное использование фотошаблона.

Предлгет изобретения

Способ изготовления фотощаблона на прозрачных основах с металлизацией поверхности подложки и нанесением светочувствительного слоя с последующими стадиями формирования трафарета, отличающийся тем, что, с целью улучшения механической и химической стойкости, металлизацию осуществляют слоем карбида хрома, нагревая подложку до 500- и помещая ее в пары кипящего хроморганического соединения, например бис-этилбеизохрома при разрежении Ш мм рт. ст.