Трехкоординатный лазерный измеритель перемещений объектов Советский патент 1992 года по МПК G01B11/03 

ной из координатных осей и выполнена с дбумя отражателями, один из которых установлен неподвижно и оптически связан с интерферометром через призмы, а второй - механически связан со щупом и оптически с интерферометром через оптико-электронные затворы.

На чертеже приведена функциональная схема трехкоординатного лазерного измерителя перемещений объектов.

Устройство содержит двухлучевой лазерный интерферометр 1, в ходе лучей 2 и 3 которого установлены соответственно оптико-электронные затворы 4, 7, жестко связанные с подвижными отражателями 5,8 по координатам X и Y, и поворотные призмы б, 9. По координате Z установлена оптическая щуповая головка 10, содержащая неподвижный отражатель 11 и подвижный отражатель 12, механически связанный со щупом 13, контактирующим с контролируемой деталью 14. Электронный блок 15 обеспечивает управление оптико-электронными затворами и обработку измерительной информации. Результаты измерения отобра- жаются на цифровом индикаторе 16. .

Трехкоординатное измерение осуществляется лазерным интерферометром в результате последовательного опроса измерительной системы по каждой координате за счет управления (переключения) оптико-электронными затворами 4 и 7 электронным блоком 15. Переключение затворов обеспечивает их работу в режимах Пропускание (затвор открыт) или Отражение на 90° (затвор закрыт) путем подачи высокочастотного управляющего сигнала. При этом считывание интерференционных полос по координате X происходит при открытом затворе 4, по Y - при закрытом затворе 4 и открытом затворе 7, по 2 - при закрытых затворах 4 и 7. Начало и окончание измерения определяется сигналом касания оптической щуповой головки. Формула изобретения Трехкоординатный лазерный измеритель перемещений объектов, например узлов координатно-измерительных машин (КИМ), содержащий двухлучевой лазерный интерферометр, установленный так, что его ось излучения ориентирована по одной из координатных осей, отражатели, предназначенные для установки на узлах КИМ, призмы и электронный блок, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона и повышения динамической точности измерений, он снабжен двумя оптико- электронными затворами, подключенными входами к электронному блоку, и щуповой головкой, каждый из затворов жестко связан с соответствующим отражателем, щуповая головка установлена с возможностью перемещения щупа по одной из координатных осей и выполнена с двумя отражателя- Mi-, один из которых установлен неподвижно и оптически связан с интерферометром через призмы, а другой - механически связан со щупом и оптически - с интерферометром через оптико-электронные затворы.