Вакуумная система и способ ее работы Советский патент 1992 года по МПК F04B37/14 

уг%

0

0

(Л

3

з

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность при циклическом режиме работы системы, При разгерметизированной рабочей камере (К) 1 осуществляется вакуумирование расширительной К 5 В этот момент вентиль (В) 3 закрыт, В 6 открыт, а насос (Н) 4 включен. Затем К 1 герметизируется, Н 4 отключается, В 3 открывается и К 1 сообщается с К 5, давления в К1 и 5 выравниваются. В 6 закрывается, включается Н 4 и К 1 откачивается до рабочего давления. По завершении технологического процесса в К 1 Н 4 отключается, В 6 открывается, давления в К 1и 5 выравниваются, В 3 закрывается, В 2 открывается, К1 разгерметизируется. Одновременно Н 4 включается, В 6 открывается и К 5 откачивается. Далее цикл повторяется. 2с.п. ф-лы, 1 ил.

ЧУУУУ

t

S

t

I

, /

ч

А /

00

&

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к вакуумным системам и технологии вакуумирования вакуумных камер при их циклическом режиме работы.

Цель изобретения - повышение экономичности,

На чертеже представлена схема вакуум- ной системы.

Вакуумная система содержит рабочую камеру 1, соединенную при помощи трубопроводов, снабженных вентилями 2 и 3, с атмосферой, вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5. Между вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5 ус- тановлен вентиль 6

Способ работы вакуумной системы реализуется следующим образом.

При разгерметизированной рабочей камере 1 (в процессе размещения в ней либо замены обрабатываемого в вакууме изделия) осуществляется вакуумирование расширительной камеры 5 - вентиль 3 закрыт, а вентиль б открыт, насос 4 включен. После окончания подготовки изделия рабочая ка- мера 1 герметизируется, насос 4 отключается (либо перекрыЁается вентилем, на чертеже не показанным), вентиль 3 открывается и давления в рабочей и расширительной камерах 1 и 5 выравниваются. Вентиль б закрывается, включается насос 4 и рабочая камера 1 откачивается до требуемого давления, при котором осуществляется технологическая операция обработки загруженного изделия. По окончании технологического процесса насос 4 отключается, вентиль б открывается, камеры 1 и 5 сообщаются, давление Ё них выравнивается, затем вентиль 3 закрывается, вентиль 2 открывается, происходит разгерметизация рабочей камеры 1, а одновременно включается насос 4 и осуществляется вакуумирование расширительной камеры 5 Далее цикл повторяется.

Экономичность достигается тем, что вакуумным насосом 4 из расширительной камеры 5 удаляется лишь количество газа, которое остается в ней после двухкратного сообщения с рабочей камерой 1, причем в процессе второго сообщения часть газа переходит в рабочую камеру 1, т.е. расширительная камера 5 как бы предварительно вакуумируется перед подключением к насосу 4, тем самым затраты собственно насоса на ее вакуумирование снижаются

Формула изобретения

2.Способ работы вакуумной системы, включающий предварительное вакуумирование расширительной камеры, герметизацию рабочей камеру, выравнивание давлений в рабочей и расширительной камерах путем их сообщения между собой, вакуумирование рабочей камеры до рабочего давления и последующую ее разгерметизацию, отличающийся тем, что перед разгерметизацией рабочей камеры повторно выравнивают давление в ней и расширительной камере путем их сообщения между собой, отсоединяют расширительную камеру от рабочей и осуществляют ее вакуумирование одновременно с разгерметизацией рабочей камеры.