СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИИМИДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ Советский патент 2012 года по МПК H01L21/22 

Похожие патенты SU1786963A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ КОРРОЗИИ 2005
  • Ирикура Хагане
RU2380120C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО МОДУЛЯ ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ С ВЫСОКОЙ ПЛОТНОСТЬЮ РАЗМЕЩЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ 2002
  • Де Оливейра Руи
RU2279770C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛИРОВАННОГО ПЛОСКОГО ДЛИННОМЕРНОГО ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СВЕРХПРОВОДЯЩЕГО ПРОВОДА ВТОРОГО ПОКОЛЕНИЯ И ПРОВОД 2019
  • Мартынова Ирина Александровна
  • Макаревич Артём Михайлович
RU2707564C1
ТЕРМОПЛАСТИЧНЫЙ ПОЛИИМИД И ЕГО ВАРИАНТ, ПОЛИАМИДНАЯ КИСЛОТА И ЕЕ ВАРИАНТ И ТЕРМОПЛАВКАЯ СЛОИСТАЯ ПЛЕНКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПРОВОЛОКУ 1993
  • Хироюки Фурутани
  • Казухиса Данно
  • Йосифуми Окамото
  • Дзуния Ида
  • Йосихиде Оонари
  • Хитоси Нодзири
  • Хиросаку Нагано
RU2139892C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ МИКРОСТРУКТУРЫ И МИКРОСТРУКТУРА, ПОЛУЧЕННАЯ УКАЗАННЫМ СПОСОБОМ 2010
  • Фюсенже,Александр
RU2528522C2
АНТИФРИКЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ 2007
  • Миньков Дмитрий Васильевич
  • Башкиров Олег Михайлович
  • Слугин Андрей Иванович
  • Иванов Александр Степанович
  • Миньков Максим Дмитриевич
  • Канюка Сергей Петрович
RU2345110C2
КОМПОЗИЦИОННОЕ ИЗДЕЛИЕ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 1995
  • Робер Касса
  • Жан-Поль Фор
RU2124987C1
Способ изготовления сквозных металлизированных микроотверстий в кремниевой подложке 2016
  • Заботин Юрий Михайлович
  • Ануров Алексей Евгеньевич
  • Жуков Андрей Александрович
  • Подгородецкий Сергей Геннадьевич
RU2629926C1
МНОГОСЛОЙНАЯ ПЛАТА ПЕЧАТНОЙ СХЕМЫ И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ 1996
  • Ясу Тошихико
  • Хирамацу Ясуджи
  • Яно Хидеки
  • Ишитани Йошифуми
  • Кавамура Йошихиро
  • Мурасе Хидеки
  • Сузуки Аюми
  • Каваде Масато
RU2129763C1
ПОДЛОЖКА С НАНООТПЕЧАТКОМ 2017
  • Хань, Хуэй
  • Юань, Дацзюнь А.
  • Боуэн, М. Шейн
RU2748273C2

Реферат патента 2012 года СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИИМИДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ

Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку, включающий обработку подложки и формирование слоя полиимидной смолы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, обработку подложки осуществляют в плазме, содержащей ионы фтора, в течение 1-100 с, а перед формированием слоя полиимидной смолы подложку выдерживают в атмосфере, содержащей аммиак в течение 1-1000 с.

SU 1 786 963 A1

Авторы

Коршунов Ф.П.

Кульгачев В.И.

Сенько С.Ф.

Воробьев О.А.

Снитовский Ю.П.

Даты

2012-03-20Публикация

1989-12-22Подача