Установка для молекулярно-лучевой эпитаксии Советский патент 1993 года по МПК C30B23/08 

Изобретение относится к технологии радиоэлектронной аппаратуры, в частности к системам для производства полупроводниковых структур, металлических и диэлек- .трических покрытий, магнитных слоев методами молекулярно-лучевой эпитаксии и электронно-лучевого испарения.

Цель изобретения - повышение чистоты и качества слоев.

На фиг.1 изображена установка, вид в плане; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.

Установка состоит из загрузочной камеры 1, соединенной транспортной магистралью 2 через шиберный затвор 3, по которой производится транспортировка каретки 4 с подложкодержателями 5. К транспортной магистрали 2 примыкают рабочие

камеры 6, снабженные автономными средг ствами откачки, а соосно загрузочному окну каждой из камер 6 присоединен корпус 7 транспортной магистрали 2 с металлическим седлом 8 запорного устройства. В корпусе 7 соосно с ним установлены привод 9 и полый шток 10, имеющий возможность осевого перемещения, на конце которого имеется кольцеобразный металлический клапан И/Внутри штока 10 размещен вал 12 манипулятора подложкодержателя 5. который имеет возможность, как совместного, так и относительного перемещения. Вал 12 манипулятора подложкодержателя снабжен приводом 13. В нижней части транспортной магистрали 2 размещен привод 14 манипулятора-доставщика 15, с помощью которого осуществляется захват и передача

00

о

ю о ю

подложкодержателя на вал 12 манипулятора подложкодежателя.

Работа линии установки осуществляется следующим образом:

Каретку 4 с подложкодержателями 5 устанавливают в загрузочную камеру 1. Производят откачку камеры 1. После чего открывают:шиберный затвор 3, расположенный между загрузочной камерой 1 и транспортной магистралью 2. Каретку перемещают в транспортную магистраль 2 и останавливают напротив выбранной позиции рабочей камеры 6, шиберный затвор закрывают. Привод 9 выбранной рабочей камеры отводит полый шток 10 от седла 8 открывая загрузочное окно камеры, после чего с помощью привода 14 манипулятор-доставщик 15 захватывает и передает подложкодержа- тёль 5 на вал 12 и отводится в исходное положение. Далее с помощью привода 9 шток 10 и вал 12 перемещают вправо до контакта клапана 11 с седлом 8, при этом производят герметизацию полости рабочей камеры б от транспортной магистрали, а подложкодержатель 5 оказывается в рабочей камере 6. После этого подложкодержатель 5, в зависимости от технологического процесса, может быть перемещен в рабочей камере б с помощью привода 13, без разгерметизации рабочей камеры б. Далее каретку 4 с подложкодержателями 5 перемещают к следующей по технологическому процессу рабочей камере 6. Выгрузку подложкодержателя 5 осуществляют в обратном порядке.

0

5

0

5

0

5

. Таким образом, выполнение запорного узла в виде полого штока с кольцеобразным металлическим клапаном на конце, в совокупности с размещением его соосно загрузочному окну, а также установкой в его полости вала манипулятора подложкодержателя устраняет наличие органических уп- лотнительных элементов. Это позволяет улучшить качество наносимых слоев за счет уменьшения количества неконтролируемых, в том числе органических примесей, появление которых возможно при повышении температуры зоны уплотнения в период проведения высокотемпературных рабочих процессов в рабочих камерах.

Формула изобретения Установка для молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащая загрузочную камеру, соединенную с ней транспортную магистраль, вдоль которой последовательно размещены рабочие камеры, имеющие загрузочные окна, каждая рабочая камера отделена от транспортной магистрали запорным узлом, установленным с возможностью возвратно-поступательного перемещения, и снабжена манипулятором подложки, имеющим вал, соединенный с автономным приводом, отличающаяся тем, что, с целью повышения чистоты и качества слоев, запорный узел выполнен в виде полого штока, расположенного соосно с загрузочным окном рабочей камеры и имеющего на конце кольцеобразный металлический клапан, а вал манипулятора размещен по оси полого штока.

А-А

Использованием комплексе оборудования по производству изделий радиоэлектронной аппаратуры, в частности в системах для производства полупроводниковых. структур, металлических и диэлектрических покрытий, магнитных слоев методом молекулярно-лучевой эпитаксии и электронно-лучевого .испарения. Сущность изобретения: установка содержит размещенные вдоль транспортной магистрали рабочие камеры. Каждая камера отделена от транспортной магистрали запорным узлом. Для улучшения качества наносимых слоев, удаления органических соединений из полости рабочих камер запорный узел выполнен в виде полого штока с кольцеобразным металлическим клапаном на конце и установлен соосно загрузочному окну рабочей камеры с возможностью осевого перемещения. Вал манипулятора подложек в рабочей камере размещен внутри полого штока по его оси и с возможностью перемещения. 2 ил. (Л С

фи г. 2