Высоковакуумный клапан шиберного типа Советский патент 1993 года по МПК F16K3/10 

Изобретение относится к запорной арматуре высоковакуумных систем и предназначено для многокамерных установок молекулярно-лучевой эпитаксии, установок переноса, других исследовательских и технологических систем.

Цель изобретения - повышение надежности работы и уменьшение габаритов клапана.

На фиг.1 изображен общий вид предлагаемого устройства, а на фиг.2 представлено сечение А-А, изображенное на фиг.1 по уплотняющему механизму.

На фиг.1 и фиг.2 имеются следующие обозначения:

1 - корпус;

2 - входной фланец;

3 - выходной фланец;

4 - опорный диск;

5-запорная пластина;

6 - уплотнитель;

7-упругая направляющая;

8 -рычаг;

9 - шток привода; .10 -фиксатор; If- роликовый захват; 12-шар йкуплотнительного механизма;

13 - фигурное гнездо;

14 - ролик;

15-привод;

16-герметизирующий сильфон;

17 -рычаг;

18-пазы в рычагах.

Устройство содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 фланцами, внутри которого расположен запорный узел, состоящий

00

о VJ

к

4 СЛ

из опорного диска 4 и запорной пластины 5 с уплотнителем 6 и упругой направляющий 7, рычагов 8, одним концом сопряженных со штоком привода 9, а другим взаимодействующих с пазами фиксаторов 10 через посредство роликовых захватов 11. На рычагах имеются сквозные гнезда, в которых расположены шарики 12 уплотнительного механизма, взаимодействующие с фигурными гнездами 13 в опорном диске 4 и в запорной пластине 5. Опорный диск снабжен роликами 14, на которых он перемещается внутри корпуса клапана. Привод 15 запорного узла состоит из винтового механизма, герметизирую щего сил ьфо на 16, рычага 17, штока 9.

Устройство работает следующим образом.

Под действием винтового механизма привода 15 шток привода 9 воздействует через рычаг 17 на рычаги 8, что приводит к перемещению запорного органа на роликах 14, в направлении перекрытия проходного сечения клапана. Опорный диск 4 и запорная пластина 5 при этом притянуты друг к другу упругой направляющей 7, шарики 12 утоплены в гнездах диска и пластины. Запорный оргён перемещается до упора в торцовую стенку корпуса, после чего усилие привода, воздействующее на рычаги 8, приводит к их повороту в плоскости опорного диска. При этом роликовые захваты 11 заходят в пазы фиксаторов 10, шарики уплотняющего механизма выходят на периферию гнезд, разжимая при этом опорный диск и запорную пластину, первый из них роликами опирается на корпус клапана, второй на уплотнительную поверхность корпуса.

Открытие клапана происходит в обратном порядке, При этом запорный механизм не может быть сдвинут в направлении привода, пока захваты рычагов не выйдут из зацепления из пазов фиксатора, соответственно шарики уплотняющего механизма утопятся в гнездах пластины и диска, т.е. диск с эластомерным уплотнителем гарантированно отойдет от уплотняемой поверх- ности, т.е. он не может быть поврежден за счет трения о нее.

Формула из о б р е т е н и я

1. Высоковакуумный клапан шиберного типа, содержащий корпус с входным и выходным фланцами, внутри которого расположен запорный узел, связанный со штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействующих с уплотняющим механизмом и фикс атором, отличающийся тем, что диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двупле- „чих рычагов с уплотнительными

механизмами, причем их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им, при этом рычаги одним плечом связаны со штоком, а на другом плече размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазами фиксаторов, причем радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов.

2. Клапан по п.1,отличающийся тем, что уплотнительный механизм выпол- нен в виде тел качения, расположенных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в диске и пластине запорного органа.

Фи а. 2

Сущность изобретения: внутри корпуса с входным и выходным фланцами расположен запорный узел, связанный штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействующих с уплотняющим механизмом и фиксатором. Диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнител ьными механизмами, их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им. Рычаги одним плечом связаны с штоком, на другом размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазами фиксаторов. Радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов. Уплотнительный механизм выполнен в виде тел качения, расположенных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в #иске и пластине запорного органа. 1 з.п, ф-лы, 2 ил. ч Ё