Испаритель для вакуумных установок Советский патент 1993 года по МПК C23C14/26 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок с контролируемым уровнем привносимых загрязнений,

Цель изобретения - расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления,

Поставленная цель достигается тем, что в испарителе для вакуумных установок, согласно изобретению, перфорированная крышка связана с контейнером посредством сильфона, перфорированная диафрагма установлена на перфорированной крышке в опоре, с возможностью вращения, и шарнирно связана с основанием посредством шести приводОвЧаким образом, что образуется геометрически неизменяемая структура (-координат.

Введение в устройство сильфона, опоры, на которой установлена перфорированная диафрагма, шести приводов, шарнирно связанных с основанием и перфорированной диафрагмой обеспечивает перемещение перфорированной диафрагмы по шести степеням подвижности - три поступательных, три вращательных, а перфорированной крышке - по пяти степеням подвижности в автоматическом режиме, так как одна вращательная степень подвижности сильфона отсутствует.

Сущность изобретения поясняется фиг. 1, где показан испаритель для вакуумных установок в разрезе.

Испаритель для вакуумных установок (фиг, 1) содержит металлический контейнер 1, установленный на основании 2 через теп- лоизолятор 3, перфорированную крышку 4, нагреватель 5, отражательный экран 6, смонтированный на теплопроводе 7, распо00

о со ю

00

ложениом внутри контейнера 1, перфорированную диафрагму 8, установленную параллельно .перфорированной крышке 4 на опоре 9 с возможностью вращения, причем число отверстий, их диаметр на крышке 4 и диафрагме совпадают. Перфорированная крышка 4 связана с контейнером 1 посредством сильфона 10, а перфорированная диафрагма 8 связана с основанием 2 посредством шести приводов 11, таким образом, что образуется геометрически измеряемая структура 1-координат. Приводы 11 связаны с основанием 2 и .перфорирован ной диафрагмой 8 посредством шарнира 12.

Испаритель для вакуумных установок (фиг. 1) работает следующим образом.

При одновременном или последовательном перемещении шести приводов 11, происходит деформация сильфона ТО и перемещение перфорированной диафрагмы 8 в пространстве по всем шести степеням подвижности. При этом, за счет того, что сильфон 10 не имеет возможности вращения вдоль левой продольной оси, перфорированная крышка 4 имеет только пять степеней подвижности, В результате чего происходит вращение диафрагмы 8 относительно крышки 4 в опоре 9, при любом положении диафграмы 8. Поток испаряемого вещества имеет, таким образом, целевую направленность, а за счет частичного или полного совмещения перфораций на крышке 4 и диафрагме / 8 обеспечивается управление потоком испаряемого вещества.

Изменение направления потока испаряемого вещества необходимо с целью повышения технологичности процесса

напыления, так как одновременно в вакуумной камере могут напыляться не одна; а несколько подложек, расположенных, например, на планетарном своде. Применение предлагаемого испарителя для вакуумных установок позволяет изменять направление потока испаряемого вещества при автоматическом управлении потоком испаряемого вещества, регулиро

вать его величину, что значительно расширяет технологические возможности установок для нанесения покрытия.

Формула изобретения

Испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель, отражательный экран, установленный на

теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке и выполненную с возможностью перемещения. Отличающийся тем, что, с целью

расширения технологических возможностей испарителя за счет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления, контейнер установлен через изолятор на основании, перфориррванная крышка соединена с контейнером сильфоном, перфорироеанная диафрагма установлена на перфорированной крышке в опоре с возможностью вращения и шарнирно связана с основанием

посредством шести приводов, образующих , геометрически неизменяемую структуру 1- координат. .

Область использования: к области нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения: расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потоком испаряемого вещества и возможности изменения его направления. Сущность изобретения: для достижения этой цели испаритель содержит металлический контейнер, установленный через изолятор на основании, нагреватель, отражательный экран, смонтированный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную крышку, соединенную сконтейнером посредством сильфона, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке в.опоре с возможностью перемещения и шарнирно связанную с основа- нием с помощью шести приводов. 1 ил,