ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1974 года по МПК C23C14/26 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано при производстве изделий электронной, радиотехнической и оптической промышленности.

Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий цилиндрический экран-нагреватель, внутри которого укреплен съемный перфорированный контейнер для испаряемого материала, и токоподводы.

Однако такой испаритель не позволяет получать равномерные покрытия на длинномерных изделиях, так как выход паров испаряемого материала происходит с торцовой поверхности экрана-нагревателя. При этом диаграмма направленности близка к диаграмме направленности точечного испарителя.

Цель изобретения - получение равномерных покрытий на длинномерных изделиях.

Для этого в предлагаемом испарителе экран-нагреватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками, одна из которых посредством петли жестко соединена с контейнером.

Предлагаемый испаритель для вакуумных установок изображен на чертеже.

Испаритель состоит из цилиндрического экрана-нагревателя 1, съемного перфорированного контейнера 2 для испаряемого материала и токоподводов 3. Экран-нагреватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками 4 и 5. Крышка 4 снабжена петлей 6 и жестко соединена с контейнером 2, который разделен на секции 7 для загрузки испаряемого материала и спабжен перфорированной крышкой 8. Свободный конец контейнера опирается на изолятор 9, например керамику. Посредством крышки 4 контейнер центрируется относительно экрана-нагревателя.

Общая площадь отверстий на единицу поверхности экрана-нагревателя изменяется от периферии к середине за счет изменения диаметра отверстий или за счет изменения расстояния между ними.

Нагрев контейнера 2 осуществляется за счет теплового поверхностного излучепия цилиндрического экрана-нагревателя 1, причем температура контейнера незначительно отличается от температуры экрана-нагревателя. Торцовые крышки 4 и 5 цилиндрического экрана-нагревателя при этом также имеют температуру, близкую к температуре контейнера 2. Благодаря этому, исключается конденсация испаряемого материала на внутренние поверхности

испарителя.

При нагреве пары испаряемого материала заполняют внутренний объем контейнера и выходят через отверстия крышки 8 в пространство между контейнером и стенками экрананагревателя. Паровой поток после многократных отражений выходит через отверстия экрана-нагревателя, образуя круговую диаграмму распределения конденсата до 360°, равномерную по длине испарителя. С целью большей равномерности распределения конденсата рекомендуется использовать для испарения углы до 180°.

Предмет изобретения

Испаритель для вакуумных установок, содержащий цилиндрический экран-нагреватель, внутри которого укреплен съемный перфорированный контейнер для испаряемого материала, и токоподводы, отличаюш,ийся тем, что, с целью получения равномерных покрытий на длинномерных изделиях, экран-нагреватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками, одна из которых жестко соединена с контейнером.

д

€

г

/

t. /4

IT