Испаритель Советский патент 1975 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок.

Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке. В таком испарителе испарение происходит с постоянной плош;адью испарения. Это достигается тем, что испаритель снабжен теплопроводом, смонтированным внури контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемеш,ения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе. Форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки.

На чертеже представлен испаритель.

Испаритель состоит из контейнера 1 с перфорированной крышкой 2, нагревателей 3 и 4, отражательного экрана 5, теплопровода 6, установленного внутри контейнера 1, и перфорированной диафрагмы 7, перфорация которой идентична перфорации крышки 2.

Отверстия крышки 2 перекрываются диафрагмой 7, выполненной с возможностью перемеш ения относительно крышки 2. Для предотвраш,ения попадания капель испаряемого вешества на напыляемую поверхность экран 5

смонтирован на теплопроводе 6 и выполнен в виде навеса.

Подбором диаметра отверстий или их количества в крышке 2 испарителя, а также степенью открытия отверстий диафрагмой 7 можно в широких пределах управлять скоростью напыления. При этом температуру испаряемого веш;ества в резервуаре испарителя можно менять в широких пределах, оставляя заданную скорость напыления слоя.

Предмет изобретения

1.Испаритель для вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданного состава путем обеспечения регулирования площади испарения, он снабжен теплопроводом, смонтированным внутри контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемещения, а отражательный экран укреплен на теплопроводе.

2.Испаритель по п. 1, отличающийся тем, что форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки.

1

6

i