Известен испаритель для вакуумной установки, снабженный полым резистивным нагревателем и окружающими его коаксиально расположенными экранами. Однако он не обеспечивает получения достаточно стабильного по интенсивности испарения рабочего материала.
В предлагаемом испарителе для вакуумной установки, предназначенной для напыления резистивных, проводниковых или полупроводниковых материалов, повышение стабильности работы испарителя достигается тем, что он содержит цилиндрический перфорированный контейнер, служащий для загрузки испаряемого материала и подвешенный на коромысле внутри резистивного нагревателя.
На фиг. 1 изображен предлагаемый испаритель; на фиг. 2 - конструктивное выполнение контейнера.
Резистивный нагреватель 1 окружен коаксиально расположенными экранами 2 и 3. Нагреватель и экраны приварены к общему основанию 4, служащему одновременно нижним токоподводом. В качестве верхнего токоподвода используется пластина 5.
Внутри резистивного нагревателя 1 на проволочном коромысле 6 подвешен загружаемый испаряемым материалом контейнер 7, выполненный в виде перфорированного цилиндра, дно 8 которого приварено к боковым стенкам контейнера, а крышка 9 выполнена съемной. Концы коромысла опираются на верхнюю кромку нагревателя соприкасаясь с ней в эквипотенциальных точках. Пары испаряемого вещества выходят из контейнера 7 через перфорации 10 в боковых его стенках.
Вследствие того, что через испаряемое вещество не проходит электрический ток нагревателя, повышается стабильность испарения этого вещества. Кроме того, увеличивается срок службы нагревателя, так как испаряемое вещество с ним не соприкасается.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для термического испарения материалов в вакууме | 1979 |
|
SU863717A1 |
| ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК | 1971 |
|
SU425988A1 |
| ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ | 1997 |
|
RU2118398C1 |
| ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ | 2008 |
|
RU2382117C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ | 1999 |
|
RU2167743C2 |
| Установка для термообработки пленок на подложках | 1988 |
|
SU1560957A1 |
| Вакуумная установка для нанесения пленок | 1976 |
|
SU605860A1 |
| Испаритель | 1980 |
|
SU1257114A1 |
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО МЕТАЛЛА | 1995 |
|
RU2083698C1 |
| СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1997 |
|
RU2113942C1 |
Испаритель для вакуумной установки, снабженный полым резистивным нагревателем и окружающими его коаксиально расположенными экранами, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности работы испарителя, он содержит цилиндрический перфорированный контейнер, служащий для загрузки испаряемого материала, подвешенный на коромысле внутри резистивного нагревателя.
