Газопоглотитель для электровакуумных приборов Советский патент 1993 года по МПК H01J7/18 

. : Изобретение относится к электрбнной: технике и может быть использовано при изготовлении газопоглотителей элёктроваку-г умных приборов, в часгности цветных кинескопов., :Х J--; ; 7 ; -: К:: .А:;- - fЦелью изЬбрётёния является noBbiiiie- ние эффективности газопогЛОщения в отпа янном приборе, которое достигается конструкцией газрпоглЬщёнй я, предотвращающей появление посторонних частиц во время распыления газопоглотителя на этапе термовакуумной обработки прибора.

Предложенная конструкция газопоглотителя содержит контейнер с активным составом и тонкопленочным защитным покрытием, которое выполнено двухслойным, внутренний слой из алюминий - кремний - магниевого сплавг., а наружный из оксидов этих металлов, причем отношение толщин этих слоев лежит в пределах от 5 до 450. ./..:;--:: ,.;--u::v:V/ -lВнутренний металлический слой приготовлен из сплава алюминия, кремния и магния. Выбор именно этих компонентов

обусловлен тем, что основной компонент - алюминий входит в активный состав газо-- поглотителя, а кремний и магний введены для повышения защитных свойств покры- ; тйя. Диа пазон содержания компонентов мё- ; тал дичее ког слоя, мае, %;- : ;; ; Алюминий ; л v; ; ВО-90 Кремний -,.-;v;;: ; 5-40 . 1у1агй14й-.л-v.;v;V ; i;,--V;; ;i Остальное v.-.. Величина каждого компонента в сплаве определена условиями производства и ти- . пом прибора :v:; ;:X: -- /i .:. Выполнение наружного слоя из оксидов этих металлов предотвращает взаимодействие активного слоя с атмосферой на этапах производства и хранения. . - J; Соотношение между толщинами внутреннего и наружного подобрано экспериментально, При отношении толщин слоев менее 5 и более 450 существенно уменьшгэтея бтойкость защитного покрытия, например, к действию влаги. Это .: тверждено результатами испытаний девяти партий газопоглотителей общим количест00

„шД

NO

ел ы

hO

вом порядка 600 шт, Суммарная толщина заидитнрго пбкрытия, выполнен Hurt) мето- дом тонкопленЬчной технологии, составляет величину порядка нескольких десятых микрон. Этого достаточно для предотвращения диффузий:в активный состав:газопо;г- лотйтёлйагрессивных комп;онентр1в из окружающей среды.V/. r -v:f ;/; При производстве газопоглотителей цё- лёсообразйр обеспечить одинаковую толщину покрытие по всей поверхности газопоглотителя. Наиболее предпочтительным йвяя ётея м ётод ма гн етро н н о го на н есе- н ия покрытия на газопоглотители; совершающие при атом сложное перёмеще- йие относительно мишени с формиро&ани- ем оксидной плёнки на поверхности ,металлическргослоя, :у ,v;;v; : -. : о-: --чП;; .-. / .: ч1/1спы а нйй/ 1гаЗ п6гл Ьт1л ёд& Й пр. жённой ко:нструк14ии:показали уменьшение

количества посторонних частиц при рарпылёнйй газопоглотителей, п;о меньшей мере,

в тридцать раз; что привело к снижению

количества дефектов изображения, повышёнию злёктропрОчности и в итоге кснижению числа рекламаций на изготовление

кинескопа. : .-Ш; ;:; Й г - U :- ---:

ф о р м у л(.а и зоб р е т е ни я Я ;

Т Газопоглотитель для Электровакуумных

приборов, содер кащий контейнер с

ным составом и а 1ц ит ным р |ик0)плё н0чй ым

гшкрытйем, b т л и н а ющ:и и с я ;тем, что, с

целькг повышения эффекти&и1р1с и гЗзопог/1Ьщения; в отпая«нрм приборе, защитное

покрытие выпрянеяо с внутрённ;йм слоем из алюмйний-крёмййй-магииевого спла ва и наружй 1м щ оксидов этих

металлов, причём отношение толщий вйут(эеннего и наружного блоев составляет В450v:.4.;;- :u -;-H:.4-