Диффузионный насос Советский патент 1993 года по МПК F04F9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике, а более конкретно-к диффузионным насосам для откачки вакуумных объемов технологического оборудования с контролируемыми параметрами экологии среды.

Цель изобретения - повышение производительности насоса при снижении потребляемой энергии.

Сущность изобретения поясняется чертежом, где показана конструкция диффузионного насоса.

Диффузионный насос содержит корпус 1, нагреватель 2, систему охлаждения 3 и систем улавливания паров масла 4. Корпус 1 выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя часть 5 металлическая, покрыта теплоизоляционным материалом 6, средняя часть 7 из материала с низким коэффициентом теплопроводности, керамическая, а верхняя часть связана с системой охлаждения и выполнена в виде цилиндрической тепловой трубы 9 радиального действия. Причем отношение

длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1.

Диффузионный насос работает следующим образом.

В результате нагрева нижней части 5 насоса происходит испарение рабочей жидкости (масла), которая условно не показана. Происходит диффузия остаточных молекул газа в объем диффузионного насоса. Интенсивное охлаждение паров масла обеспечивается посредством тепловой трубы 9 радиального действия и системы охлаждения 3. Повышенная эффективность охлаждения и снижение энергозатрат на нагрев и испарение масла достигается посредством использования керамического материала (материала с низким коэффициентом теплопроводности), из которого выполнена средняя часть 7 диффузионного насоса.

Наличие теплоизоляции на нижней части 5 насоса позволяет сократить до минимума энергопотери и, следовательно, снизить

ел

с

оо

GJ

Ч)

GJ 00

потребляемую энергию на эксплуатацию насоса.

Экспериментальные исследования опытной конструкции диффузионного насоса позволили предложить оптимальные соотношения между длинами каждой из частей насоса: 1/4:1 /4п /2.

Применение конструкции диффузионного насоса позволяет повысить его производительность при снижении потребляемой энергии, а также улучшить экологию остаточной газовой среды.

Формула изобретения

Диффузионный насос, например для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему

улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из материала с низким коэффициентом теплопроводности, а верхняя связана с системой охлаждения, отличающийся тем. что, с целью повышения производительности насоса при снижении потребляемой энергии, нижняя часть корпуса покрыта теплоизоляционным материалом, средняя часть выполнена керамической, а верхняя - в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия, причем отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1.

Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: к орпус выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой. Нижняя часть выполнена металлической, средняя из материала с низким коэффициентом теплопередачи, верхняя связана с системой охлаждения. Нижняя часть корпуса покрыта теплоизоляционным материалом, средняя выполнена керамической, верхняя в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия. Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1. 1 ил.