Способ определения шероховатости поверхности Советский патент 1993 года по МПК G01B7/34 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения шероховатости поверхностей, преимущественно, в процессе вакуумных технологий.

Цель изобретения - повышение быстродействия способа определения шероховатости поверхности, а также повышение его

ТОЧНОСТИ,

Способ определения шероховатости поверхности осуществляется следующим образом.

На эталонных образцах, например в виде пластин, измеряют величины коэффициентов ионно-электронной эмиссии, а также , измеряют аналогичный коэффициент для таких же гладких пластин. В результате получают градуировочные кривые, по которым в дальнейшем, измеряя коэффициент уе, определяют величину шероховатости контролируемых поверхностей. Данный способ

определения шероховатости поверхности может быть реализован с помощью устройства, изображенного на чертеже. Это устройство содержит вакуумную камеру, в которую помещен металлический кожух, выполняющий функции коллектора 4 вторичных ионов, входную диафрагму 1 и электрод-супрессор 2. Образец 3, шероховатость поверхности которого контролируется, помещен в металлический кожух, электрически изолированный как от образца 3, так и от корпуса вакуумной камеры, внутри которой выполняется обработка и сопутствующее ей определение шероховатости поверхности. Ионный пучок 5 попадает на образец 3 через систему отверстий, образованных входной диафрагмой 1 и отверстиями в электроде-супрессоре 2 и коллекторе 4. Супрессор 2 находится под отрицательным потенциалом относительно вакуумной камеры. Вторичные электроны,

00

сЈ ю о со

испускаемые мишенью при ионной бомбардировке, задерживаются полем супрессора 2 и выйти из коллектора не могут. Микроамперметры 6 и 7 регистрируют значения токов ионов I) и электронов U. Коэффициент вторичной ионно-электронной эмиссии определяется как отношение Уе - lo/ti

Ф о р-мула изобретения

Способ определения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность подвергают физическому воздействию, измеряют конт0

5

ролируемый параметр, сравнивают его с эталонной величиной этого параметра и по результату сравнения судят о шероховатости поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия измерений и повышения точности, физическое воздействие осуществляют облучением поверхности потоком ускоренных ионов, в качестве контролируемого параметра измеряют коэффициент ионно-электронной эмиссии поверхности, а в качестве эталонной величины - коэффициент ионно-электронной эмиссии для гладкой поверхности, изготовленной из того же материала.

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение быстродействия и точности способа определения шероховатости поверхности за счет осуществления бомбардировки контролируемой поверхности потоком ускоренных ионов и последующего измерения коэффициента ионно-электронной эмиссии как с этой поверхности, так и с гладкой поверхности, изготовленной из того же материала. По разнице этих коэффициентов судят о шероховатости поверхности. 1 ил.

Т