СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА НА ОСНОВЕ ОКСИДА МЕТАЛЛА, ПРЕДНАЗНАЧЕННОГО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ МИКРОПРИМЕСИ В АТМОСФЕРЕ НЕИЗМЕРЯЕМОГО КОМПОНЕНТА Советский патент 2005 года по МПК G01N27/02 

Способ калибровки полупроводникового чувствительного элемента на основе оксида металла, предназначенного для определения концентрации микропримеси в атмосфере неизмеряемого компонента, заключающийся в подаче на чувствительный элемент эталонной газовой смеси с последующим измерением электрофизического параметра и определением калибровочных постоянных чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения калибровочных характеристик, находят стационарное значение электрофизического параметра чувствительного элемента в атмосфере газа с постоянной концентрацией микропримеси, после чего заменяют среду на калибровочную газовую смесь с другим содержанием микропримеси, затем подают ее на чувствительный элемент и измеряют изменение электрофизического параметра чувствительного элемента во времени до нового стационарного значения, а по характерному спаду величины электрофизического параметра чувствительного элемента находят постоянную времени переходного процесса изменения электрофизического параметра от исходного до вновь полученного, по величине которой определяют калибровочные постоянные чувствительного элемента.