Интерференционный способ контроля радиуса кривизны оптических сферических поверхностей Советский патент 1993 года по МПК G01B11/24 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля радиуса кривизны оптических сферических поверхностей, в частности пробных стекол.

Цель изобретения - повышение точности.

Предлагаемый способ поясняется чертежом.

Располагают на общей подложке 1 соос- но первую и вторую пропускающие образцовые осевые синтезированные голограммы 2 и 3. устанавливают их перед контролируемой поверхностью 4, освещают коллимированным когерентным пучком 5 света, направляя его параллельно их общей

оси ОХ, формируют из пучка 5 эталонный пучок б отражением от эталонной поверхности 7, образуют из коллимированного пучка 5 в проходящем свете с помощью голограмм 2 и 3 в их отличных от нулевых порядков дифракции, соответственно, первый и второй гомоцентрические пучки 8, 9 света, у которых центры 10, 11, соответственно, расположены на расчетном расстоянии Pa-Pi, один от другого на общей оси ОХ голограмм 2, 3 и, по меньшей мере, один из которых, например, 8 - сходящийся. Направляют пучок 8 света на поверхность 4 и полученный из него отражением от нее пучок 12 света с центром 11 направляют на голограмму 2, с

00 W

о

4

сл

помощью которой преобразуют его в прошедшей сквозь голограмму 2 в обратном свете ходе лучей квазиколлимировэнный пучок 14 света.

Направляют пучок 9 на поверхность 4 и получают из него отражением от поверхности 4 пучок 15 с центром 16 направляют на голограмму 3, с помощью которой преобразуют его в прошедший сквозь голограмму 3 в обратном ходе лучей квэзиколлимирован- ный пучок 17 света. Совмещают с эталонным пучком 6 света оба пучка 14, 17 и регистрируют с помощью светоделителя 18 и объектива 19 на экране 20 одновременно две интерференционные картины 21, 22 сопоставляют их и по взаимному искривлению интерференционных полос судят о величине и знаке отступления А контролируемого радиуса R от расчетного расстояния Pa-Pi между центрами 10, 11 пучков 8, 9, образованных голограммами в прямом ходе лучей, т.е. определяют Д R - (Ра - Pi).

Формула изобретения Интерференционный способ контроля радиуса кривизны оптических сферических поверхностей, заключающийся в том, что освещают образцовую осевую синтезированную голограмму, расположенную на подножке, освещают контролируемую поверхность и судят о несоответствии радиуса кривизны контролируемой поверхности параметру синтезированной голограммы, о т- .личающийся тем, что, с целью повышения точности, предварительно размещают на подложке соосно с первой образцовой осевой голограммой вторую пропускающую образцовую осевую синтезированную голограмму и устанавливают голограммы перед

контролируемой поверхностью на одной

оси, голограммы освещают коллимированным

пучком когерентного излучения, параллельно

их оси формируют из коллимированного пучка

эталонный пучок, контролируемую поверхность освещают двумя гомоцентрическими пучками, соответствующими нулевым порядкам дифракции соответственно первой и второй голограммы, центры которых расположены на расчетном расстоянии друг от друга на оси голограмм и по крайнем мере один из которых является сходящимся, при сравнении радиуса кривизны с параметром синтезированной голограммы направляют

отраженные от контролируемой поверхности первый и второй гомоцентрические пучки на соответственно первую и вторую грлограммы, выделяют за голограммами и в обратном ходе квазиколлимированные пучки,

каждый из пучков совмещают с эталонным пучком до образования интерференционной картины, регистрируют одновременно две интеференционные картины и определяют взаимное искривление дифференционных

полос, а в качестве расчетного параметра, по которому судят о знаке и величине отступления контролируемого радиуса, выбирают расстояние между центрами первого и второго гомоцентрических пучков.

5 ft

% П з

Ц 16

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано при контроле радиуса кривизны вогнутых оптических сферических поверхностей, в частности пробных стекол. Цель изобретения - повышение точности контроля. Образцовую пропускающую осевую синтезированную голограмму устанавливают перед контролируемой поверхностью и освещают соосным с ней когерентным колли- мированным пучком света. С помощью голограммы в ее симметричных порядках дифракции в проходящем свете из коллими- рованного пучка формируют два направленных на контролируемую поверхность гомоцентрических пучка света с центрами, расположенными на расчетном расстоянии 2Р один от другого, и по муаровой картине, возникающей при совмещении на голограмме двух пучков света, полученных отражением гомоцентрических пучков света, полученных отражением гомоцентрических пучков от контролируемой поверхности, оп- ределяют величину. и знак отступления контролируемого радиуса от расчетного расстояния 2Р между центрами гомоцентрических пучков, а также форму контролируемой поверхности. 1 ил. сл