Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей Советский патент 1978 года по МПК G01B11/255 

Здесь 1 - светящая точка (монохро матический источник света); 2 - голо грамма; 3 - чувствительный щуп с отсчетньам устройством; 4 - контролируе мая поверхность с центром кривизны; 5 - объектив; 6 - контрольный прибор В качестве контрольного прибора, обе печивающего формирование светящейся точки 1 и юстировку, схемы, использую .либо автрколлимационный микроскоп, либо интерферометр типа Тваймаиа-Гри на. Оюсоб осуществляется следующим образом. При контроле вогнутых повер ностей голограмму 2 устанавливают на расстоянии R от светящейся точки 1 и наблюдают ее автоколлимационное изображение .{фиг.1). При контроле выпуклых поверхностей голограг му 2 устанавливают на расстоянии R отизображелия С светящейся точки 1, сформированного объективом 5 (фиг.2) Это положение голограммы фиксируют с помощью щупа 3, производят первый отсчет, голограг11му заменяют контроли руемойповерхыость.ю 4, фиксируют ее положение, при котором наблюдают автоколлимационное .изображение точки 1, производят второй отсчет и по разности двух отсчетов определяют знак и величину отступления ДК радиуса кривизны контролируемой пове ности от теоретического значения R. При этом радиус R и параметры голорраммы связаны соотношением )7TF-Tl-ilB(m-:fiti);(i) где R теоретический радиус кривизны контролируемой поверхности, А длина световой волны, п - поР51док дифракции, 0. -скважность, Р координаты начала (-) и конца 14)тп полосы (кольца). Таким образом, измерение большого расстояния сводится-кизмерению малой разности теоретического и фактического радиусов кривизны . Поскольку &R«R, то абсолютная погрешность измерения .ДК также значительно ненъше абсолютной погрешности измерения-R, что обуславливает су1че-ственное уменьшение от осительной погрешности измерения раиуса кривизны контролируемой сфериеской поверхности. Голограмму 2 нарезают алмазным резом на алюмиНированной поверхности теклянной пластинки по рассчитанным из выражения (1) значениям f (см. например, Буйнов Г.Н. и др. журнал Оптикомеханическая промышленность , № 4 стр. б, 1971). Использование голограммы в высоких порядках дифракции ri (см. выражение (1) позволяет упростить процесс ее изготовления. При этом для достижения максимальной дифракционной эффективности параметр Q, определяющий соотношение ширин чередующихся отражающих и неотражающих полос (колец) голограммы, выбирают из условия: где К 0,1,,.., п -1, Разработанный способ синтезирования голограмм обеспечивает восстановление волновых фронтов с точностью О,1 X , что гарантирует дифракционный характер распределения энергии в автоколлимационном изображении светящейся точки. Формула изобретения Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей путем получения автоколлимационного изображения светящейся точки от контролируемой поверхности, от л и ча ющий с я тем, что, с целью повышения точности, переносят автоколлимационное изображение с помощью осевой искусственной голограммы и по разности двух отсчетов производят контроль, .Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 66636, кл. & 01 В 11/24, 1946Г 2.Кривовед Л.И. и др. Практика оптической измерительной лаборатории . Машиностроение. М., 1974, с, 144.

Второе Ofrtfvffn