СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1966 года по МПК F04B37/02 

Известны сорбционные вакуумные насосы, содержащие испаритель геттерного вещества, расположеппый внутри сорбционной поверхности, охлаледаемой низкотемпературным хладагентом, например жидким азотом.

Конструкции таких насосов не позволяют осуществлять эффективную откачку газов в широком диапазоне давления непосредственно самими насосами.

Предлагаемый сорбционный насос существенно отличается от известных. Во-первых, его сорбционная поверхность выполнена в виде полого змеевика с зазорами между витками, расположенного внутри корпуса насоса, охлаждаемого водой, что расширяет диапазон откачки. Во-вторых, внутри полости змеевика смонтирован нагреватель, что дает возможность повысить эффективность прогрева при обезгаживапии насоса.

Конструкция насоса представлена на чертеже.

Корпус / насоса имеет рубашку водяного охлаждения и фланцы для присоединения к откачиваемому объему и системе предварительного разрел ения 2, а также для установки цоколя 5 с внутренней арматурой насоса.

температурный хладагент, например л идкий азот. Между витками змеевика предусмотрены зазоры, размеры которых определяются из условия равномерного запыления внутренней стенки корпуса при работе прямоканального испарителя 5, например титано-молибденовой проволоки, для откачки газов в диапазоне мм рт. ст. Размеры змеевика определяются из услоВИЯ необходимой низкотемпературной сорбционной поверхности, на которую осуществляется напыление геттерного вещества при работе иснарителя 6 с малым выделением тепла. При этом происходит откачка газов в диапазоне мм рт. ст. Электропитание испарителей осуществляется через токовводы 7 с металло-керамическими изоляторами.

Для обезгаживания насоса во внутренней полости змеевика установлен нагреватель 8.

Предмет изобретения

1. Сорбционный вакуумный насос, содерлсащий испаритель геттерного вещества, располол енный внутри сорбционной поверхности, охлаледаемой низкотемпературным хладагентом, отличающийся тем, что, с целью расширения диаиазона откачки, сорбционная поверхность выполнена в виде полого змеевика

с зазорами между витками, расположенного внутри охлаждаемого водой корпуса насоса. 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с

целью повышения эффективности прогрева при обезгаживании насоса, в полости змеевика расиоложен нагреватель.

ВУ-од Воды

,Выход