ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОПРОФИ Л ОМЕТ Р Советский патент 1966 года по МПК G01B11/30 G01B9/02 G02B23/02 

Известны интерференционные микронрофилометры для контроля ирофиля поверхности в заданном сечении, выполненные в виде микроирофилометра Линника, оптическая система которого проектирует изображение узкой щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двойное зеркало с двугранным прямым углом, п передаст через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр мпк)О11нтерферометра. Однако эти приборы не дают возможности контролировать внутренние поверхности. Пзвестные микроирофилометры Ю. В. Коломийцова, решающие эту задачу, имеют сложную оптическую схему, что затрудняет их изготовление.

Предложенный микропрофилометр отличается от известных тем, что, имея несложную оптическую систему, позволяет контролировать профиль внутренних поверхностей. Это достигается тем, что он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, соиряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность.

Па чертеже приведена принципиальная схема описываемого ирибора.

Лампочка иакалинанпя / с иомопцло коп,чеисорио| | лпнз1 1 2 оснеи 1а(т узкую И1,сль 3, расио.ложснную в фокальноГ п.юскости объектива 4 перпендикулярно к и.чоскостп рисунка. Выходящий из объектива параллельный

пучок лучей разделяется полупрозрачной поверхностью пластины 5 на два пучка, один из которых падает на объектив 6, а другой (после прохождения через компенсационную пластину 7} - на объектив 8. Объектив 6 вместе с Г1риз1мой 9 вводится внутрь контролируемой детали 10 и проектирует на ее поверхность изображение щели в. Огьлмчтив 8 дает изобрг1жеппе це,чи вблизи ребра призмы JJ, )аботающей как двугранное зеркало. Призма необходима для того, чтобы отражеиньи пучок лучей после обратного прохождения через объектив 8 пел под небольпгим уг.чом к своему ие15воначальному напрап.тению, что позволяет получить пптерференгаюнные полось требуемой ширины.

Пучки лучей, отраженные от гранеГ иризмы // и от контролируемой поверхиости 10, вновь соединяются пластиной 5 п попадают в зрительную трубу, состоящую из tCibeKTinsa 12, окуляра 13 п выключаюпдепся цилиндрической линзы 14. При выключенной линзе /-/ ;; иоле зрения окуляра видны два изображения и..ели 3, которые при включении линзы рас1ии)Я1отся в п шмоугольиикп и накладываются друг па 7i,)vra. П))п этом г;аб.чюд.а1отся иптер()ереициоппыс ио.юсы, (Ьорма KOTOiM.ix iioi/ro1 яет п кк1л1ль noiie|ixHOCTii детали /С вдо.11 си юе1чТГ; м)1 аииого и;: net изобр;1жеиип цоли.

интерференционные полосы имеют одинаковую ширину независимо от радиуса кривизны контролируемой поверхности, причем ширину полос можно регулировать перемешением зеркала // или объектива 4 перпендикулярно к оптической оси. Методика измерения высоты неровностей на поверхности не отличается от известной методики, используемой при работе с микроинтерферометрами.

Предмет изобретения

Интерференционный микропрофилометр для контроля профиля поверхности в заданном ее

сечении, выполненный в виде микропрофилометра Линника с оптической системой, проектируюш,ей изображение узкой щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двугранное зеркало, и передающей через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр микроинтерферометра, отличающийся тем, что, с целью контроля профиля внутренних поверхностей, он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, сопряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность.

/; ff